薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【ラインアップ】 ■気体・液体用マスフローコントローラ ・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー ・GF40 シリーズ コンパクトマスフロー ・GF100 シリーズ 高純度マスフロー ・Quantim コリオリマスフロー ■真空・圧力計測と制御 ・XacTorr シリーズ キャパシタンスマノメータ ・VersaTorr シリーズ ピラニ真空トランスデューサ ・SolidSense II プレッシャートランスデューサ ・SLA シリーズ プレッシャーコントローラ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■太陽電池関連 ■医療機器関連 ■ダイヤモンドライクコーティング ■オプティカルコーティング ■ガラスコーティング ■半導体関連 ■金属コーティング ■建築用コーティング ■食品包装用コーティング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（7）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（3）
企業情報
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
