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超高精密位置決めを可能に！多様なニーズにお応えする豊富なバリエーション
『TXシリーズ』は、フルクローズドループ制御による高精度な 位置決め制御が行える、リニアエンコーダ付きの指定が可能な、 単軸仕様の高精密位置決めテーブルです。 新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加し、 お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能。 また、直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意しております。 【特長】 ■新たにアブソリュート型リニアエンコーダを追加 ■お客様の装置に好適なリニアエンコーダを選択可能 ■充実したサイズバリエーション ■直交型の二軸仕様（CTX…M）もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
優れたコストパフォーマンス！用途に合わせたテーブル仕様が選択できます
『TE…B』は、主要構成部品に高強度アルミニウム合金を使用し、U字形の ベッドの内側にスライドテーブルを配置した、軽量・低断面・コンパクトな 位置決めテーブルです。 部品点数の削減、部品形状の最適化により、優れたコストパフォーマンスを 実現しています。 また、スライドテーブルの形状は、スタンダードとフランジ付きの2タイプ。 スライドテーブルの個数やモータの折返し仕様などが指定できるので、 機械・装置の仕様に合わせて適した製品が選択できます。 【特長】 ■軽量・低断面・高精度な位置決めテーブル ■用途に合わせたテーブル仕様が選択可能 ■優れたコストパフォーマンス ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
