コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主要仕様】 ■外形サイズ：W26×L110×H36 [mm] ■テーブルサイズ：25×30[mm] ■移動量：10[mm] ■耐荷重：1.5［kg］ ■最大負荷モーメント（Mp）：1.0［N・m］ ■分解能：2［μm］ ■位置決め精度：10［μm］ ■繰り返し位置決め精度：±5［μm］ ■ヨーイング,ピッチング：25［arcsec］ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
〜当社は”ものづくり”にこだわり、自社の技術力を養い向上 それを活用し、また専門分野・得意分野を持った企業間を結び、 新たなものを創造していくことを目的に活動しています〜
