磁気軸受形複合分子ポンプ TG900M
低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
- 企業:株式会社大阪真空機器製作所
- 価格:応相談
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低~超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少!
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
低~超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大! ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い! ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。
腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 大気突入に強い堅牢設計。
小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s~5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上!
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能! ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善! ■IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用可能! ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能!
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社ターボ分子ポンプは国内外で多くの装置メーカにご採用いただいております!
アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先:Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品:ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長:高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。