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ターボ分子ポンプ×株式会社大阪真空機器製作所 - メーカー・企業と製品の一覧

ターボ分子ポンプの製品一覧

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電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ　新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

  • その他ポンプ

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グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

  • その他ポンプ
  • 真空機器
  • 真空ポンプ

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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。

  • その他加工機械
  • 分析機器・装置
  • その他ポンプ

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真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACUUM2020 真空展に参加

お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ　［新製品］ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ 姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ 直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ　［新製品］ ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ など 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • ターボ型ポンプ

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分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析・計測装置向けターボ分子ポンプ　TG70F/240F

分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ　※カタログ進呈

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。

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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

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新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ターボ型ポンプ

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【採用事例】金属部品コーティング用真空ポンプ

【採用事例】金属部品コーティング用真空ポンプ

当社ターボ分子ポンプは国内外で多くの装置メーカにご採用いただいております！

アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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