更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】
UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応
高い評価をいただいていた ＴＵＲＢＯＶＡＣ ３４０Ｍ の後継機種です。 コントローラ搭載型に加え、新たにセパレートタイプもラインナップに加わりました。 ５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応です。 特長 ■高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立させた、新型の５軸磁気ベアリングおよび駆動システム ■あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現する強力なシステム性能 ■ベアリングおよび駆動システム用の一体型最新コンバータにより、従来の卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要 ■通信モジュールを使用した画期的な通信方法により、最新の規格に適合し、また、お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向にも対応 ■コンパクトで場所を取らない設計のため、システムを容易に統合可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。 ○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立 ○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム ○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現 ○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要 ○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合 ○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応 ○コンパクトで場所を取らない設計 ○システムを容易に統合可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 300」のご案内です。 【特徴】 ○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立 ○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム ○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現 ○一体型最新コンバータにより従来の卓上コントローラ装置や相互接続ケーブル不要 ○通信モジュールを使用した通信方法により最新の規格に適合 ○装置に容易に組み込めるよう将来の傾向にも対応 ○コンパクトで場所を取らない設計 ○システムを容易に統合可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
取付方向が自在、柔軟な設計
最高のパフォーマンスを発揮できるように設計されたTURBOVAC iシリーズ。新たに1390Lクラスまでラインナップが拡大したことにより、より多くのアプリケーションをカバー。最高の排気性能で、特に軽ガスの排気に優れています。 ハイブリッドベアリングシステムによりベアリングの寿命までメンテナンス不要。生産性を上げ、ランニングコストを削減することができます。
最長1000メートルまでのリモート操作が可能で、最大で1MGrayまでの放射線環境下での使用が可能
ハイブリッドベアリング型TURBOVAC iシリーズの耐放射線ポンプバージョン。 標準で3～60メートル、オプションのアダプターボックスを使用することで最長1000メートルまでの長さに対応、リモート操作が可能です。
新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。
アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。 かつてない低振動を実現しました。
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホより動作設定・モニタリングが可能。 業界最小ノイズ（41dB）のポンプです。
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。
