オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。
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基本情報
【主な特長】 ○オイルフリーTMP ○取り付け位置自由 ○軸受けはセラミックベアリング使用 ○クリーンな真空を得られる ○高スループット ○高フォアライン耐圧 ○ダイアフラムポンプとの組み合わせで使用することが可能 ●詳しくはお問い合わせください。
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納期
用途/実績例
●表面分析 ●質量分析 ●電子顕微鏡 ●ロードロック ●成膜装置 ●加速器 ●レーザー実験
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