ターボ分子ポンプ - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年07月09日〜2025年08月05日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○上部に磁気軸受、下部にピボット軸受を採用し、 高速回転時の機械的接触を完全に追放 →これによりベアリング交換、 オイル交換が不要となり、軸受の長寿命化を実現 ○独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと 高性能軸受により、高速回転を実現し、 H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、 低騒音と低振動を実現 | 【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○H2・He などの低分子量ガスの主排気系 ○振動を嫌う、分析装置や評価装置などの主排気系 | ||
| 【特徴】 ○350L/sから世界最大（デジタル磁気軸受型）の6300L/sまでの 豊富なバリエーション ○背圧の変化に対して安定した排気特性を維持（FHシリーズ） ○ロータの温度管理を行い、副反応生成物の付着を低減させる 内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ） ○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く） →必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、 特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能 ○全方向取付が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載により、 ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能 ○カップリングフリーシステム、チューニングフリーシステムの搭載により、 パワーサプライとポンプ本体の組み合わせやケーブル長の変更も自由 ○バッテリーフリーシステム採用により、停電時のバックアップ電源は、 回生エネルギーによる自己発電を使用（バッテリー交換などは不要） ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、集中監視システムへの対応が可能 | 【用途】 [UTM-FH シリーズ] ○蒸着装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置などの 副反応生成物の無いライト～ミドルプロセスの主排気 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○上記排気系のH2・He などの軽ガスの主排気系 ○TMP を多連で使用し、バックポンプを集中排気で使用する用途 [UTM-FW シリーズ] ○ドライエッチング装置、CVD 装置などのミドル～ハード プロセスの主排気系 ○ドライエッチング装置、CVD 装置、スパッタリング装置 などの大流量ガス排気用途 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 | ||
| 【特徴】 ○取り付け方向自由 →取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる ○オンボードコントローラ搭載 →コントローラはターボ本体に マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効 ○高圧縮比・高背圧 →圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能 ○3種類のフランジを用意 →VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸気口フランジの選択が可能 ○清浄な真空 →運転時はもちろん、 ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしている ○低騒音 →無負荷運転時の騒音は５０ｄＢ以下と静か （ISO-100Kフランジタイプの測定値） ○適合規格 →CE、NRTL適合 | 【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系 ○H2、Heなどの軽ガスの主排気系 | ||
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株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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- 代表製品
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ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○上部に磁気軸受、下部にピボット軸受を採用し、 高速回転時の機械的接触を完全に追放 →これによりベアリング交換、 オイル交換が不要となり、軸受の長寿命化を実現 ○独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと 高性能軸受により、高速回転を実現し、 H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、 低騒音と低振動を実現
- 用途/実績例
- 【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○H2・He などの低分子量ガスの主排気系 ○振動を嫌う、分析装置や評価装置などの主排気系
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○350L/sから世界最大（デジタル磁気軸受型）の6300L/sまでの 豊富なバリエーション ○背圧の変化に対して安定した排気特性を維持（FHシリーズ） ○ロータの温度管理を行い、副反応生成物の付着を低減させる 内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ） ○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く） →必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、 特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能 ○全方向取付が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載により、 ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能 ○カップリングフリーシステム、チューニングフリーシステムの搭載により、 パワーサプライとポンプ本体の組み合わせやケーブル長の変更も自由 ○バッテリーフリーシステム採用により、停電時のバックアップ電源は、 回生エネルギーによる自己発電を使用（バッテリー交換などは不要） ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、集中監視システムへの対応が可能
- 用途/実績例
- 【用途】 [UTM-FH シリーズ] ○蒸着装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置などの 副反応生成物の無いライト～ミドルプロセスの主排気 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○上記排気系のH2・He などの軽ガスの主排気系 ○TMP を多連で使用し、バックポンプを集中排気で使用する用途 [UTM-FW シリーズ] ○ドライエッチング装置、CVD 装置などのミドル～ハード プロセスの主排気系 ○ドライエッチング装置、CVD 装置、スパッタリング装置 などの大流量ガス排気用途 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B
- 概要
- 【特徴】 ○取り付け方向自由 →取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる ○オンボードコントローラ搭載 →コントローラはターボ本体に マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効 ○高圧縮比・高背圧 →圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能 ○3種類のフランジを用意 →VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸気口フランジの選択が可能 ○清浄な真空 →運転時はもちろん、 ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしている ○低騒音 →無負荷運転時の騒音は５０ｄＢ以下と静か （ISO-100Kフランジタイプの測定値） ○適合規格 →CE、NRTL適合
- 用途/実績例
- 【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系 ○H2、Heなどの軽ガスの主排気系
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株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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