メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○取り付け方向自由 →取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる ○オンボードコントローラ搭載 →コントローラはターボ本体に マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効 ○高圧縮比・高背圧 →圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能 ○3種類のフランジを用意 →VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸気口フランジの選択が可能 ○清浄な真空 →運転時はもちろん、 ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしている ○低騒音 →無負荷運転時の騒音は５０ｄＢ以下と静か （ISO-100Kフランジタイプの測定値） ○適合規格 →CE、NRTL適合 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系 ○H2、Heなどの軽ガスの主排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。