高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】
UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○上部に磁気軸受、下部にピボット軸受を採用し、 高速回転時の機械的接触を完全に追放 →これによりベアリング交換、 オイル交換が不要となり、軸受の長寿命化を実現 ○独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと 高性能軸受により、高速回転を実現し、 H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファインダイナミックバランスロータと高性能軸受の採用により、 低騒音と低振動を実現 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○H2・He などの低分子量ガスの主排気系 ○振動を嫌う、分析装置や評価装置などの主排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
