真空機器の製品一覧
- 分類:真空機器
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ

ホームページリニューアル!創業122年 ドライ真空ポンプ・ロータリブロワといえば宇野澤組鐵工所
弊社は真空ポンプ、ブロワの専業メーカーとして優れた製品を世に送り出して参りました。 昨今急速に高まった「持続可能な開発目標(SDGs)」に対しても、40年以上も前から、環境負荷の少ないドライ真空ポンプ(ルーツ式内装多段式としては世界初)を開発しており、日本国内外問わず多数の納入実績がございます。 長年にわたり蓄積したノウハウを生かし、 時代のニーズに応える製品開発を行い、お客様のご要望と信頼に応えるべく、最適な製品をこれからもご提案して参ります。

ホームページリニューアル!創業122年 ドライ真空ポンプ・ロータリブロワといえば宇野澤組鐵工所
弊社は真空ポンプ、ブロワの専業メーカーとして優れた製品を世に送り出して参りました。 昨今急速に高まった「持続可能な開発目標(SDGs)」に対しても、40年以上も前から、環境負荷の少ないドライ真空ポンプ(ルーツ式内装多段式としては世界初)を開発しており、日本国内外問わず多数の納入実績がございます。 長年にわたり蓄積したノウハウを生かし、 時代のニーズに応える製品開発を行い、お客様のご要望と信頼に応えるべく、最適な製品をこれからもご提案して参ります。

ホームページリニューアル!創業122年 ドライ真空ポンプ・ロータリブロワといえば宇野澤組鐵工所
弊社は真空ポンプ、ブロワの専業メーカーとして優れた製品を世に送り出して参りました。 昨今急速に高まった「持続可能な開発目標(SDGs)」に対しても、40年以上も前から、環境負荷の少ないドライ真空ポンプ(ルーツ式内装多段式としては世界初)を開発しており、日本国内外問わず多数の納入実績がございます。 長年にわたり蓄積したノウハウを生かし、 時代のニーズに応える製品開発を行い、お客様のご要望と信頼に応えるべく、最適な製品をこれからもご提案して参ります。
1.機器設計に基づいた分解調査 2.熟練の技術スタッフが完備された整備工場で作業を実施 3.出荷前に検査を実施し検査成績書を提出
- 真空機器
キャニスター用金属シール。樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報!メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
- シール・密封
- 化学薬品
- その他半導体製造装置
PVD/CVD/エッチング装置等で、ゴムOリングからメタルへ置換え、超高真空・極高真空を実現します!JIS V溝フランジ用標準化
- シール・密封
- CVD装置
- エッチング装置

【JIS V溝フランジ用標準化済み】半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』
デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時に外被の圧縮時につぶれて消えるように設計されており、 デルタシールの設計締付圧力は、ヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量:*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.) *取付側の品質に依存します。 【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高レベルの長寿命性。極高真空下(10-8Pa以下 )にてアウトガスが発生しにくいグリス(グリース)です。
- その他半導体製造装置
- 真空機器

ホームページにて真空設備用グリースの製品情報を公開しました
半導体製造装置向け「LOGENEST LAMBDA(ロゲネストラムダ)」シリーズの製品紹介ページとなります。 ご覧いただけますと幸いです。
シール、ハンドリング、またはロックが必要な場面でご使用頂ける膨張シール。真空0.133Pa~高圧、設計温度は-60℃~+220℃
- シール・密封
- ガス滅菌・殺菌器
- 真空機器

膨張インフレータブルシール『CEFIL'AIR(R)セフィリア』
『インフレータブルシール』は、空気圧等で膨張・収縮する製品です。 頻繁にシールが必要な箇所へ好適構造で安全。 自社製エラストマーで断面形状や材質も豊富にご用意しております。 高い設計自由度のため、様々な断面形状で小型、大型いずれも製作可能です。 詳細は、下記関連製品、関連カタログをご覧ください。

◆FOOMA JAPAN 2025 に出展: 省エネ30%の真空ポンプ実機を展示◆
日本ブッシュは「FOOMA JAPAN 2025」に出展し、環境配慮型の真空ポンプをご紹介します。包装、成形、ピック&プレースなど、食品業界の幅広い用途で導入されている当社のソリューションを、是非この機会にご覧ください。 みどころ ● 世界で300万台稼働中の真空ポンプ「R5」ファミリーから、最新シリーズを実機展示。消費電力を最大30%削減(従来比)。 ● 超軽量!21kg、可搬性に優れたリークディテクターの実演。 ご来場特典 ● 省エネ試算:今お使いの真空機器との電力比較の試算をいたします。 ● 評価用真空ポンプ無料貸し出しの受付け:評価機で省エネを実感してください。
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
- 真空ポンプ

腐食性ガスの吸引でお困りではございませんか?厚膜フッ素樹脂コーティング真空ポンプで問題を解決致します。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 基本情報 【フッ素樹脂コーティングの仕様】 種類:PFA (帯電防止) コーティング厚さ:200μm ※ピンホールレス相当品となります 特性:耐薬品性、非粘着性、撥水・撥油性 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
「定期保守・メンテナンス」「修理・リニューアル」「診断・点検」 等、様々なご要望にお応えします。 お気軽にご相談下さい。
- 真空機器
定期メンテナンスは6年に一度のロングライフを実現!トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ!
- その他実験器具・容器
- その他ポンプ
- 真空ポンプ
メンテナンスサイクルの信頼性を引継ぎつつ静音性を向上 外観デザインを一新! NeoDry-Gシリーズ
- 真空ポンプ
- 走査電子顕微鏡
- 電子顕微鏡
17年連続受賞!半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ!
- バルブ
- その他半導体製造装置
- 真空機器
地中外壁用防水スリーブ「パイプ・イン・スリーブ」(略称PIS) 施工現場 省力化! 建築物防水性能 健全化!
- 配管材
- 管継手
- シール・密封