広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
取付自在型 長期寿命(3万時間) 軽量及びコンパクト 大気突入対応
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基本情報
【製品の特長】 ○70～2400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
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納期
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用途／実績例
スパッタリング装置、蒸着装置、ロードロックス室、ＣＶＤ装置他
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企業情報
「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する！ 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、４大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。
