オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
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基本情報
＜主な仕様＞ 排気速度：90 l/s～450 l/s 到達圧力：5×10e-8 Pa フランジ：ICF、ISO-K 取付位置：自由 冷却：自然空冷・強制空冷・水冷 弊社ではライボルト社・ファイファー社・エドワーズ社・アジレント社 のターボ分子ポンプを販売しております。 仕様はカタログ及び弊社のホームページをご確認ください。
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
【用途】 ○成膜装置 ○電子顕微鏡 ○表面分析装置 ○質量分析装置 ○加速器 ○核融合実験装置 ○半導体製造装置（イオン注入、ドライエッチ、MBE）
カタログ（1）
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企業情報
企業においても、合理化、省力化の波に技術革命が進み、より微細化、より高度化、より多様化が求められています。そのような中で、弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Marketing Corporationとして、社会の発展に貢献したいとの意欲に燃えております