デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 (FWシリーズ) ○破壊エネルギー吸収構造採用により、 不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○350L/sから世界最大（デジタル磁気軸受型）の6300L/sまでの 豊富なバリエーション ○背圧の変化に対して安定した排気特性を維持（FHシリーズ） ○ロータの温度管理を行い、副反応生成物の付着を低減させる 内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ） ○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く） →必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、 特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能 ○全方向取付が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載により、 ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能 ○カップリングフリーシステム、チューニングフリーシステムの搭載により、 パワーサプライとポンプ本体の組み合わせやケーブル長の変更も自由 ○バッテリーフリーシステム採用により、停電時のバックアップ電源は、 回生エネルギーによる自己発電を使用（バッテリー交換などは不要） ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、集中監視システムへの対応が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 [UTM-FH シリーズ] ○蒸着装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置などの 副反応生成物の無いライト～ミドルプロセスの主排気 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ○上記排気系のH2・He などの軽ガスの主排気系 ○TMP を多連で使用し、バックポンプを集中排気で使用する用途 [UTM-FW シリーズ] ○ドライエッチング装置、CVD 装置などのミドル～ハード プロセスの主排気系 ○ドライエッチング装置、CVD 装置、スパッタリング装置 などの大流量ガス排気用途 ○分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
