回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○冷却水不要 →強制空冷方式のため冷却水が不要 ○高信頼性 →装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック ○簡易な操作性 →操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上 ○スイープ波形バリエーション →操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能 ○高速アーク遮断機能 →高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成 ○低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション） →光学用途で発生する微小なアークを制御し、安定した蒸着が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○金属膜用真空蒸着 ○光学膜用真空蒸着 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
