取り付け位置自由小型ターボ分子ポンプ 74FS
オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
ターボ分子ポンプ - メーカー・企業8社の製品一覧とランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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ターボ分子ポンプのメーカー・企業ランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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- 株式会社大阪真空機器製作所 大阪府/産業用機械
- 丸菱実業株式会社 神奈川県/製造・加工受託
- エドワーズ株式会社 千葉県/産業用機械
- 4 伯東株式会社 本社 東京都/電子部品・半導体
- 4 株式会社アルバック／ULVAC, Inc. 神奈川県/電子部品・半導体
ターボ分子ポンプの製品ランキング
更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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- *ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ 伯東株式会社 本社
- ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ 株式会社大阪真空機器製作所
- ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ エドワーズ株式会社
- 4 取り付け位置自由小型ターボ分子ポンプ 74FS 丸菱実業株式会社
ターボ分子ポンプの製品一覧
16～30 件を表示 ／ 全 37 件
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アジレント社製ターボ分子ポンプ 305シリーズ
アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。 かつてない低振動を実現しました。
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホより動作設定・モニタリングが可能。 業界最小ノイズ（41dB）のポンプです。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
エドワーズ社ターボ分子ポンプ
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
"セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。"
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：50万円 ~ 100万円
*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ
圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能
高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。) 省設置スペース、省ケーブル、省コスト •ドライブ回路切離しタイプ 設置環境、設置スペースの自在性 •アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) 面倒な配線作業などが不要 •ワールドワイドサービス 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVAC】
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 (FWシリーズ) ○破壊エネルギー吸収構造採用により、 不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
分析・計測装置向けターボ分子ポンプ TG70F/240F
分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ ※カタログ進呈
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム
ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を実現！
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
次世代型ターボ分子ポンプ「nEXT85」
先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる次世代型ターボ分子ポンプ！多くの主要な科学機器に標準で装着できます！
真空ポンプ技術の世界的リーダー、エドワーズが新規開発した、世代型ターボ分子ポンプをご紹介いたします。既に多大な信頼を獲得してきたEXTおよびSTPシリーズに基づく20年を超える経験をもとに設計した「nEXT85」は、先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる製品です。「nEXT85」は、性能が強化されただけでなく、現場でのメンテナンスやデータログの確認等nEXTシリーズと同一のサービスおよび運転機能を利用することが可能ターボ分子ポンプです。 【特長】 ■卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のローターデザイン ■多様なフィールドで実証された高い信頼性 ■多くの主要な科学機器に標準で装着、10万台以上の納入実績 ■複雑な加工や大掛かりな分解を必要とせず、エンドユーザーによる短時間での整備が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
- 企業：エドワーズ株式会社
- 価格：応相談
中大型ポンプ用圧力範囲表
ご要望の到達圧力や排気速度から、最適なポンプを選定頂けます。
低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。
- 企業：エドワーズ株式会社
- 価格：応相談
【必見】いま話題のCCUS・CO2回収の代表的な方法とは？
様々なCO2回収法とそれぞれにマッチした真空ポンプをご紹介
特定の製造工程であったり、焼却炉、発電所などのエネルギー生産過程において、温室効果ガスである二酸化炭素が大気中に放出されます。これを、捕捉・分離・回収・再利用することで、大気中の二酸化炭素の濃度を減少させ、排出量をゼロにする脱炭素化を目指した取り組みが世界規模で推進されています。 以下のリンクをクリックして、代表的な二酸化炭素・CO2回収の工法をご確認ください。
- 企業：エドワーズ株式会社
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