更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】
UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応
高い評価をいただいていた ＴＵＲＢＯＶＡＣ ３４０Ｍ の後継機種です。 コントローラ搭載型に加え、新たにセパレートタイプもラインナップに加わりました。 ５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応です。 特長 ■高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立させた、新型の５軸磁気ベアリングおよび駆動システム ■あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現する強力なシステム性能 ■ベアリングおよび駆動システム用の一体型最新コンバータにより、従来の卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要 ■通信モジュールを使用した画期的な通信方法により、最新の規格に適合し、また、お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向にも対応 ■コンパクトで場所を取らない設計のため、システムを容易に統合可能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。 ○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立 ○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム ○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現 ○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要 ○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合 ○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応 ○コンパクトで場所を取らない設計 ○システムを容易に統合可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
アクティブ磁気浮上システムおよびコントローラ一体型広域ターボ分子ポンプ
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 300」のご案内です。 【特徴】 ○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立 ○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム ○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現 ○一体型最新コンバータにより従来の卓上コントローラ装置や相互接続ケーブル不要 ○通信モジュールを使用した通信方法により最新の規格に適合 ○装置に容易に組み込めるよう将来の傾向にも対応 ○コンパクトで場所を取らない設計 ○システムを容易に統合可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
取付方向が自在、柔軟な設計
最高のパフォーマンスを発揮できるように設計されたTURBOVAC iシリーズ。新たに1390Lクラスまでラインナップが拡大したことにより、より多くのアプリケーションをカバー。最高の排気性能で、特に軽ガスの排気に優れています。 ハイブリッドベアリングシステムによりベアリングの寿命までメンテナンス不要。生産性を上げ、ランニングコストを削減することができます。
最長1000メートルまでのリモート操作が可能で、最大で1MGrayまでの放射線環境下での使用が可能
ハイブリッドベアリング型TURBOVAC iシリーズの耐放射線ポンプバージョン。 標準で3～60メートル、オプションのアダプターボックスを使用することで最長1000メートルまでの長さに対応、リモート操作が可能です。
新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポンプを紹介！
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML ■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50 ■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。 また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACUUM2020 真空展に参加
お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。 コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ ［新製品］ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ 姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズ ドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ 直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ ［新製品］ ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズ など 詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
当社ターボ分子ポンプは国内外で多くの装置メーカにご採用いただいております！
アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フリーズドライの鍵： 真空技術の役割
フリーズドライ(凍結乾燥)は、真空下で製品を低温で乾燥させる脱水技術です。乾燥対象に含まれる水などの溶媒を蒸発させることにより除去します。真空下で行うことで、液相を通過することなく、低い温度で溶媒を蒸発させることができます。 その1番のメリットは熱に弱い成分を保護し、対象の形状や大きさを保てることです。最終的な製品に溶媒が含まれない為、酸化や劣化、組成変化（遺伝的または酵素的）の影響を抑え、長期保存が可能になります。 以下のリンクでは、フリーズドライで真空が果たす役割と真空ポンプ選定時のポイントをご紹介します。
