セラミック圧力センサ『ME600』
高い信頼性が求められる半導体・真空プロセス用途に好適な製品です!
『ME600』は、ピエゾ抵抗方式を採用したセラミック圧力センサです。 厚膜技術によりホイーストンブリッジをセラミックダイアフラムの片面に 直接形成。これにより、高い安定性と優れた再現性を実現しております。 ダイアフラムと外周支持部が一体となったモノリシック構造を採用しており、 接合部を持たないため、圧力負荷に強く、高い信頼性と長寿命を 実現しています。 【特長】 ■出力:差動 mV/V ■製品径:φ18.0mm ■優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性 ■Al2O3(アルミナ)96% ■ゲージ圧対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:グローバル電子株式会社
- 価格:応相談