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接ガス部のネジ構造を排除！出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調整器
『S-TORRV1300シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている 超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整器
『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■小型機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■小型のアウトレットパネルを設計可能 ■装置への組み込みにも適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております
『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が ございます。お問い合わせください。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
溶断器用LPガス調整器の定番！押し込み表示機能付きハンドルにより、誤操作を防止
『マスターVI LP』は、専用設計により、LPGの安定供給に適した 容器直結タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 出口にバルブが必要の場合、6Nバルブをご用意しており、 赤色のハンドルにより、可燃性ガス用と明確に判別可能。 押し込み表示機能付きハンドルにより、誤操作を防止します。 【特長】 ■専用設計により、LPGの安定供給に好適 ■出口にバルブが必要の場合、6Nバルブをご用意 ■赤色のハンドルにより、可燃性ガス用と明確に判別できる ■押し込み表示機能付きハンドルにより、誤操作を防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
抗菌、抗ウイルス機能をハンドルに付加！より衛生的な圧力調整器！
圧力調整器を扱う際、特に人の手の触れることが多い圧力調整ハンドル・流量調整バルブつまみへ無機抗菌剤、無機抗ウイルス材を練りこみ、抗菌、抗ウイルス機能を付加。衛生的な環境づくりに貢献します。 抗菌、抗ウイルスの機能についてはSIAAマークを取得 圧力調整器本体は長年の実績のあるS-LABOシリーズを踏襲。 圧力調整の追従性に優れるほか、さまざまな種類のガス種に対応可能。 ● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ● 純度保持のためのクリーンエリアで生産 ● 純度保持のためバルブには真空下でも使用できるフッ素系グリスを採用 ● 出流れ防止のため入口側にフィルターを内蔵
電解研磨仕様品の製作も可能！ 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器
『TORR-50／80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
各種ガス供給設備・装置に幅広く使用可能！弁体の開閉状態が外部からわかります
『マスターラインVIシリーズ』は、ガスヘッダー、工場配管からの取り出し用に 適した溶断用圧力調整器です。 各種ガス供給設備・装置に幅広くご使用いただけ、押し込み表示機能付 ハンドルにより弁体の開閉状態が外部からわかります。 この他に、出口継手、圧力計の位置を変更することで自由に配管設計が 可能な「マスターラインVI Mシリーズ」や、ガスの入口を背面にレイアウトし、 省スペースに設置できる「マスターラインVI Bシリーズ」もご用意しています。 【特長】 ■ガスヘッダー、工場配管からの取り出し用に好適 ■各種ガス供給設備・装置に幅広くご使用いただける ■押し込み表示機能付ハンドルにより弁体の開閉状態が外部からわかる ■本製品シリーズは高圧ガス容器との誤接続を防ぐため、入口継手ネジは3/4-16UNF ※従来の配管継手をご使用の場合、3/4-16UNFからの変換継手をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側低圧用中流量機種！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施！
『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用 圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ピストン機構を採用することで、高い安全性を実現！耐圧、気密試験に！
『JET-Hc』は、容器直結・高圧供給タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを軽減しているほか、 ピストン機構を採用することで、高い安全性を実現。 最大20MPaまでの圧力調整が可能で、各種高圧ガス試験、実験などで 高い圧力が必要な場合に適しています。 【特長】 ■最大20MPaまでの圧力調整が可能 ■ピストン機構を採用、高い安全性を実現 ■フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを軽減 ■各種高圧ガス試験、実験などで高い圧力が必要な場合に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
圧力変動が少なく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に適しています！
『オーロラ3』は、配管・管接続タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 圧力変動が小さいコンペンセーション式構造で、入口圧力が変動しても設定した 出口圧力に大きな変化はなく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に好適。 作動性の良い大型の排出弁を装備しておりますので、安全にご使用いただけます。 【特長】 ■ウイングL-200では流量能力が不足している場合に使用 ■集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広くご使用いただける ■圧力変動が小さいコンペンセーション式構造 ■入口圧力が変動しても設定した出口圧力に大きな変化はない ■作動性の良い大型の排出弁を装備し、安全にご使用いただける ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
内部リーク発生を低減！一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備で使用可能
『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用 圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいて おります。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側低圧用大流量機種！ 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器
『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■液化ガスの大流量供給設備や大口径配管などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調整器
『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
大流量用調整器の定番！大型本体を使用、大流量を安定供給できます
『ウイングH200/ウイングL200』は、配管・管接続タイプの 一般工業ガス用圧力調整器です。 圧力変動が小さいコンペンセーション式構造で、入口圧力が 変動しても設定した出口圧力に大きな変化はありません。 集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広く ご使用いただけます。 【特長】 ■集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広く使用可能 ■圧力変動が小さいコンペンセーション式構造 ■入口圧力が変動しても設定した出口圧力に大きな変化はない ■大型本体を使用、大流量を安定供給できる ■作動性の良い大型の排出弁を装備し、安全にご使用いただける ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減！
『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
