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低リークでローデッドスペース！大気観測、環境測定、高純度ガス用小型圧力調整器
『ATR』は、ステンレス製の標準ガス・高純度ガス用圧力調整器です。 重さは約700gと超軽量コンパクト。入口継手はボディに溶接済みで、 有害大気汚染物質測定に対応しています。 メタルダイヤフラムを採用し、優れた純度維持能力を有しています。 【特長】 ■重さは約700gと超軽量コンパクト ■低リークでローデッドスペース ■入口継手はボディに溶接済み ■メタルダイヤフラムを採用し、優れた純度維持能力 ■有害大気汚染物質測定に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力調整器
酸TANAKA株式会社の『S-LABO MLシリーズ』は、 高腐食性ガスでの使用に対応した低圧用圧力調整器です。 特に、SUSも使用できない腐食性の高いガスに対応するため、 本体材質に耐食性の高いモネルを採用しています。 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用し、 入り口側には出流れ防止のためのフィルターを内蔵しました。 【特長】 ■低圧用 ■標準ガス、高純度ガス、腐食性ガス対応 ■耐食性に優れたモネル製 ■高腐食性ガスでの使用に最適 ■パージバルブ、Heリークテスト可能。（各オプション） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器のご紹介
『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】 ■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
耐食性に優れたモネル製！SUSでも対応できない高腐食性ガスに最適な圧力調整器
日酸TANAKA株式会社の『S-LABO M1シリーズ』は、 高腐食性ガスでの使用に対応した高圧用圧力調整器です。 特に、SUSも使用できない腐食性の高いガスに対応するため、 本体材質に耐食性の高いモネルを採用しています。 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用し、 入り口側には出流れ防止のためのフィルターを内蔵しました。 【特長】 ■高圧用 ■標準ガス、高純度ガス、腐食性ガス対応 ■耐食性に優れたモネル製 ■高腐食性ガスでの使用に最適 ■パージバルブ、Heリークテスト可能。（各オプション） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
純度保持性能に優れた標準ガス、高純度ガス用圧力調整器！
日酸TANAKA株式会社の『S-LABOII LAB1シリーズ』は、真鍮製の一次側高圧用機種で、 S-LABOIIシリーズの中でも最もスタンダードな調整器です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に好適 - 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 - 内部リーク低減のために、フィルターを内蔵しています ● 幅広い製品を在庫。お急ぎのご要望に応えます ● 在庫品にご希望の製品がない場合、変換継手等ご提案いたします 是非ご相談ください 【特長】 ■優れた純度保持性能 ■バルブにフッ素系グリスを使用 ■入口側にフィルターを内蔵 ■標準ガス、高純度ガスに対応 ■SUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TORR調整器をベースに開発！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施！
『S-TORRV2300SH/2300AHシリーズ』は、腐食性ガス用の圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 【特長】 ■腐食性ガス用機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
小流量・出口側の安定供給を実現！二段減圧式調整機能を装備した圧力調整器
日酸TANAKA株式会社の『S-LABOII LAB2シリーズ』は、真鍮製の 標準ガス、高純度ガス用圧力調整器です。 二段減圧式構造により、一次圧が変化しても二次圧の変動はほとんどなく、 0.2L/min(nor)以下の小流量供給にも最適です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に最適 - 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイアフラムを採用 - 内部リーク低減のために、フィルターを内蔵しています ● 8機種を在庫。お急ぎのご要望に応えます - 在庫品にご希望の製品がない場合、変換継手等ご提案いたします是非ご相談ください 【特長】 ■優れた純度保持性能 ■入口側にフィルターを内蔵 ■標準ガス、高純度ガスに対応 ■SUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます
『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用 いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
低圧配管、アウトレットパネルなどに好適な圧力調整器！
日酸TANAKA株式会社の『S-LABOII LABLシリーズ』は、真鍮製の一次側低圧用に最適化された調整器です。 低圧配管や、アウトレットパネルへの組み込みに好適です。 ● 標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に好適 - 外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 - 内部リーク低減のために、フィルターを内蔵しています ● 幅広い製品を在庫。お急ぎのご要望に応えます ● 在庫品にご希望の製品がない場合、変換継手等ご提案いたします 是非ご相談ください 【特長】 ■優れた純度保持性能 ■入口側にフィルターを内蔵 ■標準ガス、高純度ガスに対応 ■SUS316Lメタルダイヤフラムを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
『TORR-2800/2800SHシリーズ』は、腐食性、液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■腐食性、液化ガスを大流量で供給するための調整器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスの入口方向が選択可能！配管・管接続タイプの中流量用圧力調整器
『NT100B・NT100S』は、ガス集合装置、供給設備に適した調整器です。 SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からの錆の発生を抑えているほか、 フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減。 ガスの入口方向が選択可能で、「NT100B」は旧NT100Bから芯高を リニューアルし旧機種（36mm）との交換を容易にしました。 【特長】 ■ガス集合装置、供給設備に適した調整器 ■SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からの錆の発生を抑えた ■フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減 ■ガスの入口方向が選択可能 ■「NT100B」は旧NT100Bから芯高をリニューアルし 旧機種（36mm）との交換を容易にした ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
接ガス部のネジ構造を排除！非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現！
『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
安心・安全なガス供給をサポート！容器直結タイプの溶断器用圧力調整器
『マスターVI HC』は、水素ガスの供給に適した溶断器用圧力調整器です。 不意の衝撃から圧力計を守るガードを標準装備し、大陽日酸サンカッターHL-1、 その他水素系プレミックスガスに対応。 使用ガスに好適な材質の部品を使用し、安心・安全なガス供給をサポートします。 【特長】 ■大陽日酸サンカッターHL-1、その他水素系プレミックスガスに対応 ■不意の衝撃から圧力計を守るガードを標準装備 ■圧力調整ハンドルには押し込み表示機能あり ■使用ガスに好適な材質の部品を使用し、安心・安全なガス供給をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
各種ガス供給設備・装置に幅広く対応！フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減
『NT50B・NT50S』は、配管・管接続タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からのサビの発生を抑えているほか、 フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減。 ガスの入口方向が選択可能で、プリンス35 シリーズと同じ面間寸法（157mm） の製品も製作できます。 【特長】 ■SUS製の圧力計カバーを採用し、圧力計からのサビの発生を抑えた ■フィルターを内蔵し、内部リークトラブルを低減 ■ガスの入口方向が選択可能 ■プリンス35 シリーズと同じ面間寸法（157mm）の製品も製作できる ■各種ガス供給設備・装置に幅広く対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
