高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
一次側低圧用中流量機種!組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施!
『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能(接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
- 価格:応相談