【半導体向け】レーザー振動計測装置
微細加工における振動と変位をリアルタイム測定
半導体業界の微細加工においては、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、微細構造の加工においては、振動や変位が製品の品質に大きく影響します。これらの要素を正確に把握し、制御することが、歩留まり向上に不可欠です。バイブロマップ1000は、非接触・高感度測定により、微細加工における振動と変位をリアルタイムで可視化し、品質管理とプロセス改善を支援します。 【活用シーン】 ・微細加工プロセスの振動解析 ・半導体デバイスの品質評価 ・製造装置の振動対策 【導入の効果】 ・加工精度の向上 ・歩留まりの改善 ・製品の信頼性向上
- 企業:有限会社シスコム(SysCom)
- 価格:1000万円 ~ 5000万円