更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
壊れやすくデリケートな物体も安全に扱え、より高品質な生産で廃棄物を低減！
当社が取り扱う『食品用ソフトグリッパー』をご紹介します。 柔軟なシリコン成形グリッパーで、幅広いイレギュラーな形やデリケートな物体も 簡単に扱うことが可能。 また、外部からの給気がないため、ホコリ、騒音、複雑性、追加コストが ありません。 認定された当製品で飲食物オートメーションの新しい可能性を追求してください。 【使用可能な素材の製品】 ■オーガニック素材 ■プラスチック ■金属 ■木 ■ガラス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着 ■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット ■6種類のターゲットが使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
新しいオートメーションの可能性を追求！認定された食品用のソフトグリッパー
当製品は、認定された食品用のソフトグリッパーです。 柔軟なシリコン成形グリッパーで、幅広いイレギュラーな形や デリケートな物体も簡単に扱えます。 より高品質な生産で廃棄物を減らせ、外部からの給気がないため、 ホコリ、騒音、複雑性、追加コストがありません。 【特長】 ■柔軟なシリコン成形グリッパー ■壊れやすくデリケートな物体も安全に扱える ■より高品質な生産で廃棄物を減らせる ■外部からの給気がない ■ホコリ、騒音、複雑性、追加コストがない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モノマー、オリゴマーを吸引しても怖くない！構造がシンプルでロックしにくく、現場で分解清掃できるからメンテ費用も削減できます！
★---------------------------------------------★ ★プラスチックジャパンに実機展示します★ 12月7日より幕張メッセで開催の展示会「プラスチックジャパン」で実機をご覧いただけます。導入事例のご紹介もいたします。是非お越しください！ ★---------------------------------------------★ プラスチックの最終製品の品質を左右する押出成形機の真空供給。よくあるお悩みを解決できるのが「MINK」です。 【お悩み解決例】 ■ 水封ポンプは水処理費用が高い？ ドライ且つ非接触の圧縮原理のMINKが解決！ 封液や作動流体のコストがかかりません。高効率で省エネです。 ■ スクリューポンプ、多段ルーツポンプがロックする？ 構造がシンプルなMINKが解決！ モノマー、オリゴマーの吸引でもロックが起こりにくい設計です。 万が一の場合も現場で分解清掃が可能です。 【おすすめポイント】 デモ機あります！品質を実感してください。 世界のプラスチック産業で実績を重ねるMINKは期待を裏切りません！
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック／ULVAC】
■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 ■設置が簡単です
高さに差があったり、形状が様々なワークに対応します。
サクションカップ「OBシリーズ」オーバルベローズモデルは、高さ調整に適しています。 浮き出しパターンや凹凸のある板のある板など、高さに差があったり、形状が様々なワークに対応します。 小さくて薄いワークをはがすための動作に最適です。 【特徴】 ○特別に開発された材質である DURAFLEX製サクションカップは、 ゴムの弾力とポリウレタンの耐摩耗性を兼ね備えている →この材質は吸着痕防止モデル ○楕円カップの位置決めが簡単にできるよう、 ロック操作の前のスイベルオプションが装備されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空ポンプの中古品は、株式会社ソナスリンクへ。 自社在庫に加え、幅広いネットワークの中から、中古真空ポンプをお探します。
中古の真空ポンプを販売しております。 中古真空ポンプの一例 ・ロータリーポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ※必要とするポンプのモデルをお知らせください。 ※適合する機種が見つからない場合もございます。 ※可能な限り動作確認を行ってからの販売を行っております。 ※機種の状態によりオーバーホールを行ってからの引き渡しも行っております。
お客様保有のユーティリティ用真空ポンプを無償で調査・レポートいたします。
日本政府は、2050年までに温室効果ガスの排出を全体としてゼロにする、カーボンニュートラルを目指すことを宣言しました。 カーボンニュートラルの達成のためには、再生可能エネルギーの普及、省エネ技術の導入推進、森林吸収減の活用などが上げられます。 工場をお持ちのお客様で、省エネへの次の一手をどうするのか、お困りではございませんでしょうか？ ・省エネに繋がるヒントを探している。。。 ・現状の設備の見える化をしたい。。。 ・社内で検討する為の具体的な数値と資料が欲しい。。。 「既設の真空ポンプの見える化を行い、省エネポンプに入れ替えた場合の効果を実データを持って検証する」、これがエドワーズからのご提案です。 既設ポンプに計測器を取り付け、 計測データから、概算の消費電力を計算し、置き換えた場合の節電効果を無償でレポート致します。 実データを用いることにより、より現実的で具体的な検討がお客様社内で進められるかと考えます。 是非、気軽にご検討願います。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
＜チャンバー傾斜型＞多量の液体や粉末もらくらくパック らくらくパック。 袋詰めに最適・長期保存・フードロス・簡単操作
TOSEI｜業務用真空包装機 業界シェア NO.1 『トスパック V-602GII』は、 多量の液体や粉末もらくにパックできる 真空包装機です。 チャンバーロック機構により、高ガス封入が可能。 包装材の長さに合わせられるストッパーをはじめ、 真空室内を確認できる 透明アクリル窓も採用しています。 【特長】 ■チャンバー傾斜型 ■防水操作パネル ■厚手の袋も確実シール ■上下シール方式 ■波形ヒーターの標準装備 ■高ガス封入機能 ■使いやすさ抜群 ■メンテナンスも簡単 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ★★
押出成形機の真空ポンプにお困りではありませんか？『水封式真空ポンプ』や『ドライ真空ポンプ』などの課題と解決策をご紹介！
製品の品質を左右する押出成形機の重要な機器である真空系で お困りではありませんか？ 当資料では、“水封式真空ポンプ”や“ドライ真空ポンプ”などの 課題と解決策について掲載。 当社は、オイル式、水封式、ドライ式（スクリュー、クロー、ルーツ）と 様々な原理の真空ポンプを取り扱っており、お客様のプロセスに 適した製品をご提案可能です。 課題解決に、ぜひご活用ください。 【掲載内容】 ■既設設備の課題 ■水封式真空ポンプ：課題と解決策 ■ドライ真空ポンプ：課題と解決策 ■その他の課題と解決策 ■日本ブッシュの実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム
『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを追加することなく装置にアドオン／複数の装置で共用可能です。 真空ポンプを大容量のポンプにしなくても、粗引き時間が短縮、あるいは、同じ粗引き時間ならポンプを小型化することができます。 【特徴】 ○ポンプは大気圧から排気しないので、ポンプ負荷が軽減される ○ポンプ寿命やメンテナンス間隔が延びる ○水蒸気を含む気体の排気ができる ○ロータリーポンプの場合、オイルミストが激減する ○複数の装置でリザーバを共用することができる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
チャンバー傾斜型の真空包装機｜大量の液体や粉末もらくらくパック可能な真空包装機＜簡単ワンタッチ操作＞ 長期保存・簡単操作
TOSEI｜業務用真空包装機 業界シェア NO.1 国産ならではの高性能な真空包装機。 厚手の袋や液体・粉末の真空パックに。 チャンバーロック機構により、高ガス封入が可能！ 上下にヒーター線があることで、 アルミ袋やガゼット袋、特殊な袋もシール可能です。 傾斜がついているため、細かい粉末の真空パックにも最適。 << 製品の特徴 >> ■真空度は業界最高水準を誇ります ■タッチパネルで誰でも簡単ラクラク操作 ■大量の液体や粉末もらくらくパック可能 ■高ガス封入機 ■上下シール方式 ■厚手の袋も確実シール ■100円ショップのポリ袋がOKなのはTOSPACKだけ 袋代のランニングコストが安上がり ■オイル交換通知機能付きでメンテナンスも安心＆楽々 商品についてやお見積もりなどお気軽に問い合わせください。 ★★
パッケージの酸化・腐食防止のための空気圧タイプの真空包装機
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。 また、多様なオプション機能を利用して複数の産業分野に適用が可能で、棚を利用した大型、重量物包装も可能です。
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(スタンドタイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。 また、多様なオプション機能を利用して複数の産業分野に適用が可能で、棚を利用した大型、重量物包装も可能です。
エアー駆動ノズル式脱気真空包装機(傾斜作業台タイプ) パッケージの酸化・腐食防止のための真空包装機器
ノズルを介して封筒の内部を直接真空で接着することで、作業速度が速く操作が簡単です。 空気圧式真空包装機とは異なり、駆動時に外部エアコンプレッサーを必要とせず、真空センサとデジタルタイマーが内臓され、真空度（単位：kPa）、時間（単位：0.1秒）を微調整でき、温度センサが内臓されて温度を調節して包装が可能です。
20種類のプログラムが可能！ブロック肉用の縦ベルト式真空包装機のご紹介です！
『MDJ-V032SCA』は、ブロック肉用縦ベルト式真空包装機です。 20種類のプログラムが可能。 また、オプションにて封口カッティングシステムもご用意しています。 当社は、様々なニーズにお応えする真空包装機を提供致します。 真空包装機の「部品・修理・新規購入」でご検討、お困りの方は 是非ご相談下さい。 【特長】 ■ブロック肉用縦ベルト式真空包装機 ■20種類のプログラムが可能 ■オプション：チャンバー高さ300mm、封口カッティングシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ブロック肉用真空包装機！オプションにて封口カッティングシステムをご用意しています
『MDJ-V033LCA』は、ブロック肉用縦ベルト式真空包装機です。 据付面積は3303×1321×1889mmで、有効シール長は1100mm×2本。 20種類のプログラムが可能となっています。 当社は、様々なニーズにお応えする真空包装機を提供致します。 真空包装機の「部品・修理・新規購入」でご検討、お困りの方は 是非ご相談下さい。 【特長】 ■ブロック肉用縦ベルト式真空包装機 ■20種類のプログラムが可能 ■オプション：チャンバー高さ300mm、封口カッティングシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高耐久アクリル製ふたで進行状況がよく見える！小ロットの真空に適した包装機
『AZ-300H』は、300ｍｍのシールバーで、横幅が長い袋や、 15センチ以下の袋を2つ同時にも真空パックが可能な包装機です。 チャンバー内の高さが計155mm（ふたのドーム状部分を含む）なので、 厚めの物をパックする時も安心。 また、付属の傾斜板を使う事で、主に液体や液体を含むものを 真空パックする際、吹きこぼれを防ぎとても便利です。 【特長】 ■傾斜版を使えば、斜めの底で、液体も吹きこぼれない仕様 外せば深さ110ミリの深底仕様でブロック肉もOK ■小ロットの真空に好適 ■高性能で丈夫なポンプを搭載 ■業務用の能力を持ちながら驚きの価格 ■卓上型なので設置場所を選ばない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シールユニットが2列！小さい袋を複数同時パックする作業に便利な包装機
『AZ-400WS（ダブルシール）』は、中ロットの真空に適した 包装機です。 左右2列のシール部があるので、小さい袋を複数同時パックする 作業に便利。 操作もカンタンでどなたでも使えるため、初めて使う方にも お勧めな製品です。 【特長】 ■中ロットの真空に好適 ■2列シール部により、作業性アップ ■たまに大きい袋をパックするときも便利 ■一日200～500パックに好適 ■操作もカンタンでどなたでも使える ■初めて使う方にもお勧め ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IOI DVR Express Core
全モデルの特長 ・リモートコンピュータへの接続： 3Gb eSATA ・トリガー入出力： 双方向TTL回線×6、LVDS入出力×2 ・タイムスタンプ： 記録されたすべてのフレームはハードウェアタイムコードジェネレータによってタイムスタンプさ れます。 ・同期：タイムコードジェネレータは、外部のIRIG、GPS、またはその他の外部クロックに同期させることができます。 （受信機モジュールは含まれていません。） ・制御ソフトウェア： CoreView, Core SDK, Streams 5 (Windows XP/Vista/7 – 32/64ビット）
