更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト 非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
壊れやすくデリケートな物体も安全に扱え、より高品質な生産で廃棄物を低減！
当社が取り扱う『食品用ソフトグリッパー』をご紹介します。 柔軟なシリコン成形グリッパーで、幅広いイレギュラーな形やデリケートな物体も 簡単に扱うことが可能。 また、外部からの給気がないため、ホコリ、騒音、複雑性、追加コストが ありません。 認定された当製品で飲食物オートメーションの新しい可能性を追求してください。 【使用可能な素材の製品】 ■オーガニック素材 ■プラスチック ■金属 ■木 ■ガラス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
新しいオートメーションの可能性を追求！認定された食品用のソフトグリッパー
当製品は、認定された食品用のソフトグリッパーです。 柔軟なシリコン成形グリッパーで、幅広いイレギュラーな形や デリケートな物体も簡単に扱えます。 より高品質な生産で廃棄物を減らせ、外部からの給気がないため、 ホコリ、騒音、複雑性、追加コストがありません。 【特長】 ■柔軟なシリコン成形グリッパー ■壊れやすくデリケートな物体も安全に扱える ■より高品質な生産で廃棄物を減らせる ■外部からの給気がない ■ホコリ、騒音、複雑性、追加コストがない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着
『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着 ■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット ■6種類のターゲットが使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■オプションポート：各種コンポーネント取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モノマー、オリゴマーを吸引しても怖くない！構造がシンプルでロックしにくく、現場で分解清掃できるからメンテ費用も削減できます！
★---------------------------------------------★ ★プラスチックジャパンに実機展示します★ 12月7日より幕張メッセで開催の展示会「プラスチックジャパン」で実機をご覧いただけます。導入事例のご紹介もいたします。是非お越しください！ ★---------------------------------------------★ プラスチックの最終製品の品質を左右する押出成形機の真空供給。よくあるお悩みを解決できるのが「MINK」です。 【お悩み解決例】 ■ 水封ポンプは水処理費用が高い？ ドライ且つ非接触の圧縮原理のMINKが解決！ 封液や作動流体のコストがかかりません。高効率で省エネです。 ■ スクリューポンプ、多段ルーツポンプがロックする？ 構造がシンプルなMINKが解決！ モノマー、オリゴマーの吸引でもロックが起こりにくい設計です。 万が一の場合も現場で分解清掃が可能です。 【おすすめポイント】 デモ機あります！品質を実感してください。 世界のプラスチック産業で実績を重ねるMINKは期待を裏切りません！
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが可能
『MU-XE シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.25kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック／ULVAC】
■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 ■設置が簡単です
高さに差があったり、形状が様々なワークに対応します。
サクションカップ「OBシリーズ」オーバルベローズモデルは、高さ調整に適しています。 浮き出しパターンや凹凸のある板のある板など、高さに差があったり、形状が様々なワークに対応します。 小さくて薄いワークをはがすための動作に最適です。 【特徴】 ○特別に開発された材質である DURAFLEX製サクションカップは、 ゴムの弾力とポリウレタンの耐摩耗性を兼ね備えている →この材質は吸着痕防止モデル ○楕円カップの位置決めが簡単にできるよう、 ロック操作の前のスイベルオプションが装備されている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空ポンプの中古品は、株式会社ソナスリンクへ。 自社在庫に加え、幅広いネットワークの中から、中古真空ポンプをお探します。
中古の真空ポンプを販売しております。 中古真空ポンプの一例 ・ロータリーポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ※必要とするポンプのモデルをお知らせください。 ※適合する機種が見つからない場合もございます。 ※可能な限り動作確認を行ってからの販売を行っております。 ※機種の状態によりオーバーホールを行ってからの引き渡しも行っております。
