New！ドライ真空ポンプ『SDシリーズ』
プロセス耐性に優れたドライ真空ポンプ！ 新しい外観デザインでNewリリース
独自形状の竪型スクリュー 特殊材料による高い耐食性と豊富な温度バリエーションにより幅広いプロセスへの対応を実現 外観を刷新し、省フットプリントデザイン！ 【仕様】 ■プロセス耐性の継承と進化 ■低消費電力 ■省フットプリント ■SENI/CE/NRTL 各規格に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
真空ポンプ(仕様) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年04月22日～2026年05月19日
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真空ポンプの製品一覧
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ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
- 企業：樫山工業株式会社
- 価格：応相談
DVP社製 油回転式真空ポンプ
ユーザー様の用途に合わせて選択できる油回転式真空ポンプ！
当社は、一般産業等の様々なアプリケーションに数多く採用されている DVP社製の『油回転式真空ポンプ』を取り扱っております。 大気圧から中真空（105～10-1Pa）程度までの真空状態を簡単に作る事ができ、 ユーザ様の用途に合わせて選択が可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■排気速度：25m3～350m3/h ■到達真空度：10Pa～1kPa（abs） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：有限会社スコットプランニング 工場
- 価格：応相談
Mils社製油回転式 真空ポンプ『Evisaシリーズ』
世界の様々な用途でその価値を証明しているMils社製油回転式真空ポンプ！
当社では、オイル回路とエネルギー効率に細心の注意を払って設計された Mils社製油回転式真空ポンプ『Evisaシリーズ』を取り扱っております。 単独での使用はもちろん、ターボ分子ポンプ用の荒引きポンプとしても ご使用頂けます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■排気速度：25m3～600m3/h ■到達真空度：6Pa～ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：有限会社スコットプランニング 工場
- 価格：応相談
水封式真空ポンプ SWシリーズ
あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。 他方式ではトラブルの基となる様々なガスを 封水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは、 水でシールすることで 凝縮性ガスや引火性ガスの 排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、 メカニカルシールも選択できます。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
- 企業：神港精機株式会社 東京支店
- 価格：応相談
空冷式ドライ真空ポンプ FR060D
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
高真空タイプコンバム『HDVシリーズ』
容器内の気体吸出しや、真空チャンバーの粗引きにおすすめ！
『HDVシリーズ』は、通常のコンバムの真空度よりさらに高い 真空度(-98.6kPa)を達成した高真空タイプコンバム。 容器内の気体吸出し(脱気)、真空チャンバーの粗引きに適しています。 【特長】 ■真空度(-98.6kPa)を達成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コンバム株式会社 旧社名：妙徳
- 価格：応相談
ダイアフラムタイプ真空ポンプ『MF-5』
空気と微量の液体を同時吸引可能！
『MF-5』は、小型で偏心量を少なく取り、ダイアフラムへの負担が 少なくすむダイアフラムタイプの真空ポンプです。 無給油式ドライタイプのポンプのため、接ガス部に油を 使用しておりません。 また、特殊ガスの吸引ができ、ガスによりダイアフラムの材質を 変更可能ですので、ガスをご使用の場合は必ずお問合せください。 【特長】 ■低振動、低騒音 ■使用電圧単相 100V ■サーマルプロテクター内蔵 ■電源接続 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
- 企業：株式会社三津海製作所
- 価格：応相談
VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ
独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＰ３－２５０１
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＰ３－１５０１（空冷式）
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
水封式真空ポンプ『VPC』
幅広い用途で使用できる吸引ポンプ！
『VPC』は、汚泥から粉粒体まで吸引物を選ばず、幅広い用途で使用可能な 吸引ポンプです。 下水や汚泥だけでなく、木材チップ鋳造砂などの粉体まで追加装備なしで 吸引することが可能。 インタークーリングシステム実装で、長時間連続運転を実現いたしました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■低騒音 ■軽量・コンパクト設計 ■作業終了毎の給脂メンテナンス不要 ■オイルシール欠損時、容易に把握可能 ■水封式のため排気には油分含まない環境配慮設計 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社ディートマー・カイザー・ジャパン
- 価格：応相談
食品業界向けドライスクリュー真空ポンプ『NOVADRY』
食品業界固有の課題解決に貢献する、業界初・唯一の100%オイルフリーの真空ポンプ。食品の安全性と環境への配慮の両立を実現。
製造や包装など、食品業界のお客様のSDGsの目標達成に貢献するドライ真空ポンプ。革新的なベルト駆動式で、オイルが食品に混入するリスクをゼロにします。 ■ 水封式ポンプとに比べ、消費電力を削減。水の管理も不要 ■ 油回転式ポンプに比べ、オイルの交換が不要なため廃棄物を削減でき、製造ラインの稼働時間も延長 食品業界の様々な用途に適したドライスクリュー真空ポンプです。
- 企業：ライボルト株式会社
- 価格：応相談
コンパクトドライ真空ポンプ DSP250/DSP500
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
スクリュー真空ポンプ COBRA Industry ファミリー
液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ。効率性に優れ、安定性と耐腐食性を必要とする業界用途に好適
【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能 ■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上 ■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
NVC830.3 - デュアルヘッド真空制御シリーズ
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・閉ループ真空制御 ・設定可能なポンプインターフェースと性能 ・汚染のない流量 ・カスタマイズ対応可能 ・メンテナンスフリー ・設置位置を問わず動作可能 ・長寿命 ・高い空気圧性能 ・コンパクトサイズ／高出力密度 ・高い耐結露性 代表的な適用アプリケーション ・医療 ・分析機器 ・ガスサンプリング ・インクジェットプリンター ・脱気 ・安全/セキュリティ
- 企業：株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN
- 価格：10万円 ~ 50万円
ルーツ式真空ポンプ ＶＰ４－６５１
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＭＰ１４－１２１００１（ＳＵＳ）
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＭ４－８０１
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
【ポンプのお悩み解決】排気中の水を分解したい
排気側にセパレータを装着することで、排気と排水を分離することができる！
当社は「排気中の水を分解したい」というポンプのお悩みを解決します。 排気側にセパレータを装着します。分離した排水を再利用することが できるので省エネに貢献することが可能です。 また、セパレータには排気音を低減する効果もあります。 真空ポンプ「MEA」のセパレータ付き仕様は、セパレータが 組付いた状態で出荷されるため、施工が簡単でとても便利です。 【このようなお悩みを解決】 ■排気中の水分を分離したい ・排気中の水分を分離して再利用したい ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
携帯真空ポンプ『ポケットブラックPB2010』
車の真空引きに！電動工具で4.05torrの真空到達度！
当製品は、エアコン修理などで、 フロンガスを抜いたカーエアコンに対して、 ゲージマニホールドと共に使用することで、 簡単に真空引き作業が出来ます。 また、専用ボトルを使用して、 ブレーキオイルのバキュームブリーダーとして力を発揮します。 高い真空度を発生するポケットヴァックでブレーキオイルを吸い上げます。 【特長】 ■簡単に真空引き作業が可能 ■シングルステージ・2ベーン方式 ■ポケットヴァックでブレーキオイルを吸い上げる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：プロステップ株式会社
- 価格：応相談
液体の充てん機器などに！真空ポンプ「DVH145」
約10cmの手のひらサイズ真空ポンプ！機器組込み用の圧縮空気源・真空源として幅広い業界で使用可能
DC電源に対応したリニア駆動フリーピストン方式の機器組込み用真空ポンプです。 シリンダのピストンを電磁石の吸引力とスプリングの復元力で往復運動させる リニア駆動フリーピストン方式は、低振動・低作動音を実現します。 お弁当用の醤油さしのような少量で口が小さい容器への液体充てんなどにもご使用いただけます。 【特長】 ■小型・軽量 ■低作動音 ■低振動 ■オイルレス／クリーン ■脈動を低減 など
- 企業：日東工器株式会社
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＰＭ１３－１０１００１（特殊）
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
ルーツ式真空ポンプ ＶＭＰ１３－３０Ｂ２５０１
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
- 企業：株式会社四葉機械製作所
- 価格：応相談
真空ポンプ 「TW-05A・TW-05AS」
自動車エアコンの真空引きに最適
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、電磁弁（逆流防止）付タイプと電磁弁無しタイプの２種類をご用意。圧縮方式はロータリーベーンで、排気速度は20ℓ（50HZ）・30ℓ（60HZ）です。R12・R134両方使用可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アバント
- 価格：応相談
【注意事項】大晃機械工業「ドライ真空ポンプ」
大晃機械工業社製「ドライ真空ポンプ」の運搬や保管の際の注意事項を掲載
当資料は、三興商事が取扱う大晃機械工業社製「ドライ真空ポンプ」の 注意事項を掲載しています。 同社より発行された本書は、真空ポンプ購入のご計画時にご使用いただくため、 取扱い上特に注意すべき点を取扱説明書より抜粋したものです。 納入後は必ず納入仕様書、取扱説明書をご参照の上取扱いをお願いします。 【掲載内容】 ■保証について ■運搬・移動 ■保管 ■据付 ■ユーティリティ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：三興商事株式会社
- 価格：応相談
ロータリー式真空ポンプ『ＭＳＶ－２００－３ＧＶ』
真空度調整がポンプ側で可能！付属の真空計を確認しながら調節可能な真空ポンプ
『ロータリー式真空ポンプＭＳＶ－２００－３ＧＶ』は真空計・真空調製バルブ付きモデルの真空ポンプです。 本製品は常用真空度に設定しており、常用真空度以下で調節可能です。加えてロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用いただけます。 また無給油式ドライタイプの為、給油の必要がなくメンテナンスフリーでご使用いただけます。 【特長】 ■真空計と真空調節バルブを標準装備 ■真空度調節がポンプで可能 ■モーター直結のタイプでスペースを取らずメンテナンスが容易 ■給油の必要性なし ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社三津海製作所
- 価格：応相談
真空ポンプ 「TW-05A・TW-05AS」
TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。真空ポンプの吸気口径は7/16-20UNF(1/4)です。ホース取付ネジサイズはM10×1.5（アタッチメント付）でR12R134の両方に使用することができます。圧縮方式はロータリーベーンになります。重量は6.9kgです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アバント
- 価格：応相談
真空ポンプ【製糖会社で利用されるポンプ】
構造が堅牢で保守が容易！広く使用されている真空ポンプをご紹介します
『FV型』は、プレート弁式・複動・横型水冷式の真空ポンプです。 排気速度は11～35m3/min、到達圧力は5065～4000Pa。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も 広く使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■コンパクト ■構造が堅牢 ■取扱いが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大同機械製造株式会社 本社工場
- 価格：応相談
真空ポンプ【製糖会社で利用されるポンプ】
メンテナンス時間が少なく、稼働停止による減産コスト削減可！環境に配慮した真空ポンプ
『HT型』は、スライド弁式・二段・横型水冷式の真空ポンプです。 水や油の後処理が不要で、低ランニングコストで非常に環境に配慮。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も広く 使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■ウェイストフリー ■コンパクト ■構造が堅牢で、保守が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大同機械製造株式会社 本社工場
- 価格：応相談
