更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
オリオン機械/真空ポンプ。精密空調機サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。
■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用。 ■メンテナンスが容易。 ■無給油方式で油分を含まない為、作業環境や製品を油で汚さない。 ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することが可能。
経済的なポンプ！幅広く使用されています！
当製品は、メカニカルブースタポンプと合わせて使用するオイル密封式・ 回転式の真空ポンプです。 油で密封されたロータリー・ポンプは、圧力が気圧から0.13～1.3×10-2Paまで 変化するガスを圧縮し、次に、空気中にそれらを放出させます。 ダイレクトに、オイルによって密封されたロタリーバキュームポンプは コンパクト性と無塵性の両方を提供します。 【特長】 ■メカニカルブースタポンプと合わせて使用可能 ■ガスを圧縮 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広いラインナップから適したポンプを選択することが可能。
一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 - 低圧でも高い排気速度 - 低い騒音レベルとスムーズな操作 - 内蔵の効率的な排気フィルターによるオイルミストの少ない排気ガス - 冷却効率の高い空冷式（標準）・オプションで水冷式も選択可能 - 省スペース、簡単な設置 - 堅牢かつ容易なメンテナンス性 - SOGEVC SV 100B以上のサイズはルーツポンプに直接接続が可能 - 高い水蒸気許容量 - 豊富なアクセサリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のＶＰ型真空ポンプ
ＶＰ型真空ポンプは､他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ･真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたＹＫＳの直接口－ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ･オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口－ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為､製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。
大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
ドイツ製カーボンブレード、耐久性および低騒音を実現し、給油の必要はまったくなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用いただけます。
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
食品業界固有の課題解決に貢献する、業界初・唯一の100%オイルフリーの真空ポンプ。食品の安全性と環境への配慮の両立を実現。
製造や包装など、食品業界のお客様のSDGsの目標達成に貢献するドライ真空ポンプ。革新的なベルト駆動式で、オイルが食品に混入するリスクをゼロにします。 ■ 水封式ポンプとに比べ、消費電力を削減。水の管理も不要 ■ 油回転式ポンプに比べ、オイルの交換が不要なため廃棄物を削減でき、製造ラインの稼働時間も延長 食品業界の様々な用途に適したドライスクリュー真空ポンプです。
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポンプ MINK MVシリーズ
MINK MV シリーズは、世界の製造現場で実績を積む、高効率なドライ真空ポンプです。 動作原理は非接触式のため摩耗がありません。従って効率が高く、消費電力が抑えられています。また、プロセスガスの圧縮に潤滑油や封液などが不要なことからもコストが抑えられます。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
軽量コンパクトな液封式真空ポンプ
封液がピストンの役割をし、潤滑油が不要で低騒音、環境配慮型の液封式真空ポンプです。 従来のカップリング部分がなくなったことにより、大幅な軽量化とコンパクト化を実現しました。 シール部にはOリング、パッキンを採用し、メンテナンス性が向上しました。 吐出し口の一部にボールバルブ機構を採用。高真空域でも安定した運転を維持します。 モータ出力0.4～5.5kWをラインナップ。 本体と、封液を溜める補給水槽を共通ベースに載せたパッケージ品（VDP型）もバリエーション。 ※詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
空気と微量の液体を同時吸引可能！
『MF-5』は、小型で偏心量を少なく取り、ダイアフラムへの負担が 少なくすむダイアフラムタイプの真空ポンプです。 無給油式ドライタイプのポンプのため、接ガス部に油を 使用しておりません。 また、特殊ガスの吸引ができ、ガスによりダイアフラムの材質を 変更可能ですので、ガスをご使用の場合は必ずお問合せください。 【特長】 ■低振動、低騒音 ■使用電圧単相 100V ■サーマルプロテクター内蔵 ■電源接続 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
最高のポンプ性能を引き出すために特殊配合された真空ポンプ用オイル。お客様の生産性を向上します。
各オイルには真空対応の添加剤が配合されており、ポンプを保護しポンプ寿命を延長します。 オイル交換間隔を延長、全体的な電力消費量やメンテナンスコストを削減します。 REACH、DSL、NDSL、GHSなど多くの法規制に準拠しています。 1リットルからドラム缶（200～208リットル）のサイズがあります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンス時間が少なく、稼働停止による減産コスト削減可！環境に配慮した真空ポンプ
『HT型』は、スライド弁式・二段・横型水冷式の真空ポンプです。 水や油の後処理が不要で、低ランニングコストで非常に環境に配慮。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も広く 使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■ウェイストフリー ■コンパクト ■構造が堅牢で、保守が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドライ真空ポンプの問題点を解決！
四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式 回転するローター内部とケーシング･ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去 常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
接ガス部に油不使用！無給油式ドライタイプのポンプです
『MP-3NP-C』は、DC24V/DC12Vのブラシレスモーターを採用し、 専用ドライバーを内蔵したピストンタイプのコンプレッサーです。 小型で軽量。運転音が非常に静かな設計となっております。 【仕様環境】 ■温度0～40℃ ■湿度85％未満 ■結露なきこと ■室内 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
耐食性エジェクターをはじめ、鉄鋼用脱ガス真空エジェクターなどをご紹介
当カタログは、化学、製薬、食品及び油精製産業の他、 溶解ガスを水や他の液体から除去するためにも広く使用される 「真空システム」について掲載しております。 真空蒸発、乾燥、蒸留そして精留プラントの真空発生に 用いられる「エジェクター真空ポンプ」の基礎をはじめ、 「鉄鋼用脱ガス真空エジェクター」などをご紹介しております。 【掲載内容（一部）】 ■エジェクター真空ポンプの基礎 ■石油ファイナリーでの真空蒸留塔用のエジェクター ■海水の脱塩用真空設備 ■製品蒸気で駆動のエジェクター ■耐食性エジェクター ■化学工場向けエジェクター ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空包装マシンと高速包装サイクル用途に特化して設計された真空ポンプ。従来型の油回転真空ポンプと比較し最大30%の省エネ！
【製品説明】 世界各地では300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはそういった優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 従来型のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で 30%の省エネを実現しました。 ■ 高いサービス性 サービスを要するコンポーネントをすべて片側に配置。サービス ルーチンが大幅に迅速化されます。 ■ 生産現場の温度上昇を抑制 排熱方向を最適化することで放熱を低減しました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
