更新日： 集計期間:2025年10月01日～2025年10月28日
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熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
【カップリング直結型】低騒音で耐久性に優れ、高度の清浄性を有しています。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れた液封式（水封式）真空ポンプです。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、水や水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触が無く、液膜により完全にシールされるため漏れが無く、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適した液封式（水封式）真空ポンプです。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求しました。大幅に消費動力を削減しています。(2作動型に比べて30％の省エネが可能となりました。)水封構造によりガスのリークは皆無で、高価なガスの圧送・圧縮に効果的です。 ■その他・・・ 低騒音を実現します。 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけ吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また、消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押さえられます。 ※液封式（水封式）真空ポンプの詳細はカタログDL頂くか、お問い合わせください。
大容量オイル、耐食コーティング、高冷却効率デザインにより、オーバーヒートを防ぎ、オイル劣化を遅らせ、ポンプの寿命を延ばします。
(1)クール･ランニングオペレーション 冷却効率の良いデザイン・大容量のオイルによって競合品と比べ、10℃低い運転温度を実現しました。 (2) 耐食性コーティング ポンプモジュール部には黒色酸化コーティングを、オイルケース部にはPTFEコーティングを処理しています。 (3)一般的なロータリーポンプと比較し、約40％オイル容量をUP。腐食性のあるガスを希釈し、ポンプへのダメージを低減します。また、静穏や熱の吸収にも効果を発揮します。
減圧ろ過、減圧乾燥に適した小型真空ポンプです。
ドライ真空ポンプRocker 300型の耐溶媒仕様です。 ポンプヘッド内およびダイヤフラムはPTFEコートされており、強酸、強アルカリを除く腐食性ガスに耐性があります。蒸留や濃縮、溶媒を使っての減圧ろ過など、幅広い用途にご使用いただけます。真空レギュレーターとトラップびんが標準で付属しています。
コンパクトかつお手頃価格のオイルフリー式ダイヤフラム真空ポンプです。 手動で排気速度を任意に調整可能な機能を備えております。
LABOPORT N96.18
【モータ 一体型】低騒音で耐久性に優れた、小型液封式（水封式）真空ポンプです。
ニクニの液封式（水封式）真空ポンプは安全性＆経済性に優れています。 ■安全性 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送も全く支障はありません。ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされているためモレがなく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 ■経済性 高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減します。（2作動型に比べ30％の省エネが可能）液封構造によりガスのリークはありません。高価なガスの圧送、圧縮に効果的です。 ■低騒音 シャフト1回転で羽根車のセルの数だけの吸引・圧縮が連続的に行われるため、脈動・振動がありません。また消音セパレータとの組合せにより騒音は極めて低く押えられます。 ■耐久性 シンプル構造と堅牢構造に加え、ポンプ内にシール部以外の摺動部や機械的接触がないため、耐久性に優れています。側気口構造のため磨耗に強く、内気口型のものに比べて長期間高性能を維持します。 ■清浄性 油回転式のようなオイルミス卜の発生がなく、清浄な環境を守ります。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のＶＰ型真空ポンプ
ＶＰ型真空ポンプは､他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ･真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたＹＫＳの直接口－ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ･オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口－ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為､製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
安価でよりマルチ用途に！軸受・軸シール・ギヤ等の長寿命化、低騒音、低振動を実現
『SDV-Rシリーズ』は、ライトケミカルプロセス向けのスクリュー式 ドライ真空ポンプです。 安価・省スペースで好評の「SDVシリーズ」を改良し、使用用途を拡大。 ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈する N2パージ機構を追加しました。 当社は、2024年2月20日（火）〜22日（木）、東京ビッグサイト西ホールにて 開催される「スマートファクトリーJapan 2024」に出展いたします。 【特長】 ■サイドケースの構造変更 ・大気開放穴を閉じ、取扱ガスの外部漏れを防止 ■N2パージ機構追加 ・ベアリング部への機内ガス侵入を防止、腐食性ガスを希釈 ■接ガス部にフッ素コーティングを施工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
耐食性に優れるステンレス製（SUS316相当）の水封式真空ポンプ
腐食性ガスを吸引するプロセスでは、 接ガス部に耐食性材質を採用することで、 故障を低減できます。 ◆耐食性材質としてグレードの高い SCS14（SUS316）のステンレスで製造します。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。 ◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、 配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。 ◆水封式真空ポンプですので 凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆二段式のため2,300Paの到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組合せで800～1,300Paまで 圧力を下げることが可能です。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
「ピッタリなポンプが見つからないな。。」とお悩みの方ご連絡ください！オーステナイト系ステンレス鋼を採用したルーツ式の真空ポンプ！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
