【半導体加工業界向け】水封式真空ポンプ「MEA」
【樹脂製水封式真空ポンプ】クリーンな真空環境を提供
半導体製造プロセスにおいては、クリーンな作業環境を維持することが重要となります。 当社水封式真空ポンプ「MEA」は、水封式を採用することで作業環境をクリーンに保ち、水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適です。 ミウラの水封式真空ポンプは、単に性能だけを追及したのではなく、何よりも、使いやすさにこだわって開発されました。 ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 吸引トラブルや破損に強い耐久構造になっています。 モータを直結した軽量コンパクトボディで省スペースにも効果的です。 【活用シーン】 ・半導体製造における固定用の真空源として ・クリーンな吸引環境が必要なプロセス ・水蒸気や水分を含む気体の吸引 【導入の効果】 ・省スペース化 ・クリーンな作業環境の維持
- 企業:三浦工業株式会社
- 価格:応相談