更新日： 集計期間:2025年04月23日～2025年05月20日
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
真空ポンプ TEZ8
●オイルカートリッジ式でオイル交換が容易 ●オイル進入・逆流を防止するモニターチューブ ストレーナ内蔵モニターチューブにより、真空ポンプオイルの逆流及び進入を防ぐとともに、真空ポンプ内に圧力が加わった時のオイル噴出も防止。 ●ストレーナ内蔵モニターチューブ ゴミの進入を監視できる透明のモニターチューブに、スラッジなどのゴミの進入を防止するストレーナを内蔵。 ●小型・軽量 ●高速ターボファン 高速ターボファンの採用で冷却効率がよく、高温の場所でも威力を発揮。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能） ○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現
『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性：ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW：プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
必要部品完全装着、冷却水不要！抜群の真空度で安定したドレン回収を実現！
『JVC型』は、独特の高効率ジェット式真空ポンプと、高温用渦巻ポンプを 使用した安定したドレン回収ポンプです。 給水タンクや環水タンク（ホットウェルタンク）が設備されている 蒸気ボイラ設備において、タンク内の水温に応じて抜群の真空度が得られます。 【特長】 ■ポンプを使用するのに必要な全ての弁類、機器がユニットに 組込まれており、手軽で工事ミスがない ■取付工事は3箇所の配管接続と制御盤に電源を接続すれば完了 ■吸込性能の良い循環ポンプを使用 ■小型の給水タンクでもキャピテーションの心配がない ■タンクの保有水量が多い場合は、熱容量が大きく回収熱量も大きくなる ■循環ポンプの軸シール部は負圧にならず、メカニカルシールの ドライ運転は発生しない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
