更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計
ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■低・中真空領域の測定に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温の真空乾燥・ベーク処理を全自動で…DY-Pタイプ。 さらに大排気量のポンプを組込み 排気速度を大幅UP…DY-MPタイプ。
生産機として設計された自動式真空乾燥・ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、耐久性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。 到達圧力と排気速度の異なる2タイプ(DY-PとDY-MP) から、目的、用途に合った 機種をお選びください。 ■DY-Pタイプ 排気系が油回転真空ポンプ単独で構成され、到達圧力は×10Pa となります。 ■DY-MPタイプ 排気系が油回転真空ポンプとメカニカルブースターで構成され、到達圧力が×1Pa とDY-Pタイプより一桁良くなるとともに、メカニカルブースターにより大きな排気速度が得られます。ガスなどを多く含んだワークの大量処理に適しています。
取扱いが簡単で堅牢！リレー接点を2点装備し、システム制御にも使用可能です
『DG-2B/DG-2B2』は、メーターと本体（アンプ）が分かれている セパレートタイプのペニング真空計で、設置場所を選ばず、装置への 取付に適しています。 「ペニング真空計」は、磁場中における放電電流を検出して測る真空計です。 冷陰極放電なのでフィラメントの焼損もなく、一気圧でスイッチを入れても 故障を起こすことはありません。 また「DG-2B2」は、リレー接点を2点装備しているのでシステム制御にも 使用する事が可能。その他、お客様のご要望に応じて改良が可能です。 【特長】 ■セパレートタイプ ■設置場所を選ばず、装置への取付に好適 ■測定球はマグネットに特殊合金を使用 ■測定球フィラメントの焼損等がなく堅牢 ■圧力のインジケーターとして容易に使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。
中型エジェクター「piCLASSIC Siモデル」は、最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。 Si カートリッジは、大きな真空流量を必要とするアプリケーションに最適です。 多孔質のワークの取扱いやリークがある場合に適しています。 【特徴】 ○COAX Si32 3 ステージカートリッジは 1～6 本まで利用できる ○必要に応じて容量の増大が容易 ○軽量で、様々な組合せが可能なモジュラー設計を採用 ○メンテナンスのための分解が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応したモデル
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用しました。
小型エジェクター「P3010」ソレノイドバルブ搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 DS 23 3/2 バルブは、40 μ フィルターの圧縮空気に適しています。 【特徴】 ○2.5 W ソレノイドを搭載 ○サイレンサーと真空フィルター付き ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低蒸気圧を実現！高真空下の環境で使用可能！
『パワーバキュームグリース』はベースオイルに低分子分をカットした フッ素油を採用し、低蒸気圧を実現した商品です。 増ちょう剤に不純物を排除したフッ素樹脂のみを配合、 高潤滑且つアウトガスの心配もなく 高真空下の環境で安心してお使い頂けます。 【特長】 ■低蒸気圧のため蒸気量が少ない ■アウトガスの発生が少ない ■高潤滑性能 ■ケミカルアタック(樹脂・ゴム製品への影響)の心配がほとんどない ■蒸気量が少ないのでクリーンルームでの使用にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
押出成形機のベントガス用として実績多数あり！押出成形機用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
凝縮液に対して極めて強靭！ケミカルプロセス用の縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
豊富な実績に裏打ちされた真空乾燥器・真空乾燥装置のスタンダード。研究開発、生産プロセスなど幅広い用途に対応する万能タイプ。
DQ-P（ポンプ組込タイプ） 省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 DQ-S（卓上タイプ） 設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック／ULVAC】
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ラインナップ】 ○PMB-001C,CM ○PMB-003C,CM ○PRC-003A ○PRC-006A ○PRC-012A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子 T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子 TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓 TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
障害などのシステムイベントを通知！豊富な映像入力（IP / TVI / CVI / Analog HD/ 960H）をサポート！
デジタルビデオレコーダー『DGD1005AV／DGD1009AV／DGD1017A』を取り扱っています。 「DGD1005AV」は4ch、「DGD1009AV」は8ch、「DGD1017A」は16chに対応。 Cloud EaZy Networkingは無料アプリ「EagleEyes」で簡単な3ステップでインターネットに接続します。 対応映像信号は、「IP/Analog HD/TVI/CVI/960H」となっており、全チャンネル1080Pリアルタイムレコーディングです。 【特長】 ■無料P2P Cloud EaZy Networking ■Push Video & Push Status ■対応映像信号：IP/Analog HD/TVI/CVI/960H ■全チャンネル1080Pリアルタイムレコーディング ■IPカメラ用に最大5MPレコーディング（IP最大2チャンネル） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。
■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。
小型ダイアフラム式真空ポンプCS-40Vはオイルフリーで多様に対応！導入実績も多く、コストダウン効果も！メンテナンスも容易！
小型真空ポンプ『CS-40V』は、主に医療機器向けに設計された国内製造の ダイアフラム式真空ポンプです！ ダブルヘッド仕様のため高真空・流量も豊富です。オイルレス小型真空ポンプで排気に油分が含まれないので、吸引器等の医療機器をはじめ、美容・健康機器や分析器・環境測定器、産業機器など幅広い用途に使用可能で、様々な分野での導入実績もあります。 この他にも、「CS-20V」や「CS-10P」をラインアップしております。 【特長】 ■オイルフリー ■コストダウン可能 ■小型・軽量・低騒音 ■安心の国内製造 ■医療用途などに多数の実績 ■サーマルプロテクター内蔵 ※まずはPDF資料ダウンロードをご利用下さい！詳細についてはぜひ、メール・お電話でどんなことでもお気軽にお問い合わせ下さい！
小型ダイアフラム式真空ポンプCS-20Vはオイルフリーで多様に対応！導入実績も多く、コストダウン効果も！メンテナンスも容易！
小型真空ポンプ『CS-20V』は、主に医療機器向けに設計された国内製造の ダイアフラム式真空ポンプです！ オイルレス小型真空ポンプで排気に油分が含まれないので、吸引器等の医療機器をはじめ、美容・健康機器や分析器・環境測定器、産業機器など幅広い用途に使用可能で、様々な分野での導入実績もあります。 この他にも、「CS-40V」や「CS-10P」をラインアップしております。 【特長】 ■オイルフリー ■コストダウン可能 ■小型・軽量・低騒音 ■安心の国内製造 ■医療用途などに多数の実績 ■サーマルプロテクター内蔵 ※まずはPDF資料ダウンロードをご利用下さい！詳細についてはぜひ、メール・お電話でどんなことでもお気軽にお問い合わせ下さい！
省エネ・低騒音！大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です
『プレミアム パッケージポンプ』は、省エネ、低騒音で IoT対応システムを搭載した新型真空ポンプです。 大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です。 タッチパネルに「運転稼動管理」や「圧力・負荷率グラフ」など 様々な情報を表示し、簡単操作で運転条件を変更できます。 【特長】 ■吸着輸送・真空成型・工場集中真空源 ■省エネ・低騒音 ■IoT対応システム ■簡単タッチパネル操作 ■複数台は台数制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
95 -kPa までの高い真空度で多流量を提供します。
中型エジェクター「piCLASSIC Xiモデル」は、最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。 COAX Xi40 3 ステージカートリッジを 1～6 本まで利用できる大容量です。 小型の piCLASSICは、必要に応じて容量を容易に増やせます。 【特徴】 ○Xi カートリッジは、95 -kPa までの高い真空度で多流量を提供する ○ガラス、鉄板などリークのないワークに最適です。 ○軽量で、様々な組合せが可能なモジュラー設計 ○メンテナンスのための分解が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
圧縮空気圧の変動や低い圧力でも高い動作信頼性を発揮します。
中型エジェクター「piCLASSIC Piモデル」は、最もエネルギー効率の高いエジェクター技術を採用しました。 圧縮空気圧の変動や低い圧力でも高い動作信頼性を発揮します。 COAX Pi48 3 ステージカートリッジは 1～6 本まで利用できる大容量です。 小型の piCLASSICは、必要に応じて容量を容易に増やせます。 【特徴】 ○供給圧力 0.3 MPa でも高い真空度を実現 ○軽量で、様々な組合せが可能なモジュラー設計 ○メンテナンスのための分解が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
化学プラント、医薬製プラントの溶剤回収に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ガス流路に水を使用しない為、水汚染を防止！水封式真空ポンプ /・油回転ポンプの置換用に適した縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれば低コスト化が可能。他社には無い立型ドライ真空ポンプです。
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
食品プラント、化学プラント向けに実績多数ありの縦型ドライ真空ポンプ
『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。 【特長】 ○液体に強い ○省電力・高性能形 ○温度上昇が低い ○高温ガスの吸引が可能 ○小さい設置面積 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
