更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空（1×10-5pa程度）対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温ガス対応・CEMSに適したダイヤフラムポンプ
BシリーズDia-Vacポンプは非常に静かで、シングルヘッドまたはダブルヘッド構成があり、加熱ヘッドまたは昇温ヘッド（最高204°C）のオプションがあります。115V/230Vのデュアル電圧、50/60HzのデュアルサイクルACモーターを搭載しており、OEMのお客様に最適です。これらの頑丈なポンプは、ブラシレス12-24 V DCモーター、耐腐食性接液材料の選択も可能です。
真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
