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水封式真空発生装置『WVC-750』

水蒸気や水滴を含んだ気体のバキュームに好適！ウエーハバキュームシステムのご紹介

『WVC-750』は、半導体電子部品用に用いられるウエーハ基板を クランプする為に開発した水封式真空発生装置です。 水冷循環チラーと一体化して使用可能なほか、低騒音で振動が少なく、 長時間安定真空を実現しました。 水循環冷却により水の消費量を節約でき、水蒸気や水滴を含んだ気体の バキュームに適しています。 【特長】 ■水蒸気や水滴を含んだ気体のバキュームに好適 ■低騒音で振動が少なく長時間安定真空実現 ■水循環冷却による水の消費量節約 ■水冷循環チラーと一体化して使用可能 ■強いバキューム力(5.3Pa×10^3を達成) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。