更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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励磁コイルの周波数、材料の透磁率・導電率を入力！複数の導体として定義できます
渦電流による磁場シールド効果や、渦電流分布・発熱分布・発熱量を算出します。複数の導体として定義すると、それぞれの導体の渦電流が閉じた状態で計算できます 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.049 ex渦電流番の紹介」をご覧ください ポイントはこちら ・励磁コイルの周波数、材料の透磁率・導電率を入力します ・導体の中で渦電流は閉じています ・複数の導体として定義できます ・すると、それぞれに渦電流が流れ損失が減ります ・磁場・渦電流・発熱分布を表示します ・トータル発熱量（損失量）を出力します
表皮厚は非磁性体に比べて非常に薄くなる！周波数・導電率・透磁率によって変わります
渦電流は導体の表面を流れ、磁場の進入を防ぎます。また渦電流の流れる深さを表皮厚さと言い、周波数・導電率・透磁率によって変わります。一般的に磁性体の表皮厚は非磁性体に比べて非常に薄くなります。詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.050 渦電流と表皮厚さ」をご覧ください ポイントはこちら ・磁場が時間変化すると導体に渦電流が流れる ・導体の表面に流れる ・流れる深さを表皮厚と言う ・周波数、導電率、透磁率で表皮厚さが変わる ・表面に薄く流れるので導体のメッシュは細かくする
外場機能は、電磁場解析での解析作業の効率化に有効です。
「有限要素モデル（外場の影響を受けて解析を行なうモデル）」を計算する際には外場モデルからの影響を考慮して計算しますが、有限要素モデルから外場モデルへの影響を無視します。 コイルまたは磁石のみの「外場モデル」の場合には、コイル周辺からコイルへの影響を考える必要がありませんので、一方通行の計算が可能です。このような場合に、外場機能は有効です。 また、磁性体のコアを持つコイルと遠方に磁性体等が存在する場合には、磁性体内部の磁化はお互いの影響から決まりますので通常の様にすべてモデル化し計算する必要がありますが、遠方の場合にコイルとコアのみを周辺の空気と共に計算し、この結果として得られるコアの磁化とコイルの電流を使って遠方の磁性体等周辺を計算すると、コアの計算には遠方の磁性体の作る磁場による影響はほとんど無視できるため、十分良い近似の結果が得られると予想できます。このような場合には、解析結果を使用した外場計算が有効です。
今すぐダウンロード！【Excelベースのシミュレーションソフト】～現場の担当者でも手軽に使えます～
『μ-Excel』は、「解析ソフトは高額」という常識を覆す、低価格の熱・構造・電磁界解析ソフト。 Excel上で作動するので、使いなれた操作感で本格的なシミュレーションができます。 【こんなお困り事ありませんか？】 ・高額な解析ソフトほどの高度機能は必要としていない… ・解析結果を今すぐ欲しい… ・解析ソフト操作方法の習得が心配… そんな方へ、サブスクリプションサービスがお勧めです！ ■なんと9,800円で１か月使い放題 ■磁場解析と温度解析とか、複数のテーマを選べます ■Excelでの作動。使いなれた操作感で本格的なシミュレーションが可能 無料体験版のWebダウンロード！ ▽https://www.mutec.org/m_excel_trial.html で今すぐダウンロード！▽ ▽操作感は動画でもご覧になれます【解析ノウハウ.com】で検索！▽ 誘導加熱版（体験版あり）／静磁場版（体験版あり）／静電場版（体験版あり）／熱伝導版（体験版あり）／ 電磁力版／着磁トルク版／応力版／誘導機版／金型冷却版／誘電体応力版／イオンビーム版
「磁場解析・電場解析・電子軌道解析」 モデルの作成、計算条件の設定、計算実行、結果表示、結果抽出など
電磁界解析ソフトウェア ELF/MAGIC,ELFIN,ELF/BEAMの全機能搭載（磁界解析・電界解析・電子軌道解析） 【概要】 ■計算可能なモデルは小規模なものに限ります。 ■使用期限があります。 ※関連リンクのホームページに価格表、解析事例があります。 ご不明点等ありましたらお気軽にお問合せください。
複雑な加熱コイル形状に威力、高周波加熱、温度、発熱、磁場分布が見える！
誘導加熱は様々な機械装置で利用されています。 クッキングのＩＨヒーティングお始め、機械加工、プレス、鋳造に至ります。 課題は誘導加熱コイルが複雑な配置をしておりモデル定義が困難なこと、 温度依存性を考慮した解析でなければ、実際の温度分布と差が出てしまう等 があります。 μ-ＴＭは誘導加熱専用モジュールとする事で、これら課題に挑戦しています。 【特長】 ・誘導加熱コイルによる磁場解析と非定常温度解析をシームレスに ・コイルを有限要素とは独立に設定するため、モデル化が簡単 ・問題に特化した条件設定メニューで、解析工数をさらに短縮 ・初心者向けには、自社開発の直交格子メッシャーAirCubeとの組合せがお勧め ・精密なモデル形状にはFemapとの組合せを さらに ・お客様の問題に踏み込んだ、プロのコンサルティングをご提供 ・受託解析や、カスタム開発も、安価にご提供いたします ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧ください。
3次元誘導加熱解析ソフト、コイルの移動なども簡単に設定できます
解析に不慣れな設計・研究の方にも、手軽に操作できるソフトに仕上げています。簡単なコイル設定で、加熱コイルの移動もインターフェースで簡単に設定できます 詳細は【解析ノウハウ.com】の「063 μ-TMの紹介」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱・温度解析の専用ソフト ・加熱コイルの有限要素分割は不要 ・複雑なコイル形状やコイルの移動が簡単 ・ウィザード形式で解り易い条件設定 ・３次元誘導加熱解析をもっと身近に さらに ・お客様の問題に踏み込んだ、プロのコンサルティングをご提供 ・受託解析や、カスタム開発も、安価にご提供いたします
本格的な電磁場解析も安価に実現！電磁波、モータ、コイル、磁石の解析に対応しています。
PHOTO-Seriesは、電磁場解析・電磁界解析・電磁波解析のためのCAEソフトウェアです。モータ、トランス、コイル、磁石、RFID、アンテナなどの設計開発に対応し、熱解析や応力解析との連成解析も可能です。 対象分野毎に、解析テーマに応じて最も適したシミュレーション手法を用いた解析ソルバーをご用意しています。一つの解析ソルバーで全ての現象を取り扱う他社製パッケージソフトとは異なり、目的に最適な解析ソルバーを用いますから、解析精度が高く、ニーズにもきめ細かく対応できます。 また問題に適した必要なモジュールだけを選択できるため、導入コストも経済的に抑えることができます。 モジュールの追加による機能拡張も簡単に行なうことができますし、組み合わせることによって、渦電流による発熱、電磁力による応力や変形等の連成解析を扱うことが可能です。 以下の様な分野での解析実績がございます。 ●磁場解析・磁界解析・電磁誘導分野 ●電場解析・電界解析・高電圧分野 ●電磁波解析・高周波分野 ●超伝導解析・連成解析分野
無方向性電磁鋼板をリング状に打ち出したモデルでの解析例を掲載！
当資料は、無方向性電磁鋼板をリング状に打ち出したモデルでの 解析例を掲載しています。 リングモデル電圧源をはじめ、ヒステリシスカーブの測定値との比較結果 などについて詳しく解説しています。 【掲載内容】 ■1.1 解析モデルと目的 ■1.2 解析条件と計算時間 ■1.3 磁場分布、鉄損分布結果 ■1.4 交番磁束と回転磁界結果 ■1.5 ヒステリシスカーブの測定値との比較結果 ■1.6 電流波形結果 ■1.7 インターフェース設定画面 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三次元モータ解析についてモデル化に関する有用な事例をご紹介
当資料では、電磁界解析ソフトウェア「EMSolution」が得意とする 三次元モータ解析について、モデル化に関する有用な事例を紹介しています。 電磁界解析（FEA）は、モータ設計・開発にとって強力なツールです。 モータの電磁界解析には、モータ内部の物理現象を把握できる、 モータ電流電圧・トルク・永久磁石の渦電流損を算出できる、 などの有用性があります。 【掲載内容】 ■目的と有用性 ■適用内容 ■解析事例 ■ソリューションを可能にする解析技術 ■まとめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する！
μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の初期位置、初期速度、担当電流量の入力機能 ・Ｅｘｃｅｌからの条件設定ｃｓｖファイル読込機能 ・計算範囲の指定と、自動計算ストップ機能 ・古典論および相対論効果を考慮した軌道解析機能 ・軌道計算法はRungeKuttaを採用 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧ください。
有限要素法では定義された形状によって、自動的に磁石の動作点（パーミアンス係数）を計算！
磁場解析で永久磁石を定義するには、磁石のＢＨ（減磁）曲線が必要になります。メーカカタログのイメージを下記に示しましたが、残留磁束密度Brと保持力Hcを結ぶBＨ曲線を使用します。 カタログにはその他にＪＨ曲線（磁化曲線）、最大エネルギー積ＢＨmaxが掲載されています。 有限要素法では定義された形状によって、自動的に磁石の動作点（パーミアンス係数）を計算します。 「永久磁石の定義」に関しては「解析ノウハウ.com」のＮＯ．119をご覧ください
高い精度で製品の挙動を予測する強連成マルチフィジックス解析ソフトウェア
『OOFELIE』は、FEM/BEMモデルにて、熱・構造・音響・電場・磁場・流体などの 物理現象を解析するOpen Engineering社製の強連成マルチフィジックス解析ソフトウェアです。 外部デバイスとの相互作用も考慮した上で、高い精度で製品の挙動を予測します。 また、光学設計ソフトZemaxと自動的にデータ交換を行い、ヒューマンエラーや データの取り間違えのリスクを減らし設計効率を向上させます。 【特長】 ■単一ソルバの強連成解析で高速・高精度 ■FEM／BEM のカップリングに対応 ■EDAと連携、モデル縮約機能を搭載 ■パラメトリックモデリングによる設計 ■設計プロセスのカスタマイズに対応 ■流体は内部 FEM ソルバ又は外部ソルバで対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで！イラストや図を用いて解説
当資料では、電磁気現象、Maxwell方程式、有限要素法から解析例まで、 電磁気シミュレーションの世界をご紹介しています。 μ-EXCELの解析ノウハウ動画サイトである「解析ノウハウ.com」から抜粋。 イラストやグラフを用いてわかりやすく解説しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■電磁場の現象 ■Maxwell方程式 ■ベクトル演算 ■数値計算 ■有限要素法 ■モータ解析 ■その他の解析 【解析ノウハウ.com (https://mu-excel.com)を開設しました！】 ・「ホーム」メニューで、ノウハウ集の一覧を ・「詳細を見る」ボタンで、ノウハウポイントと動画を ・「カテゴリー」メニューで、ジャンルとシリーズから絞込み ・「キーワードで検索」で関連動画をさらに絞込み ・「ブログ」で、更新動画を都度ご紹介します ★下記よりサンプルソフトをダウンロード頂けます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
200種類を超える豊富な材料物性モデルを保有！さまざまな材料を設定することが可能
『Ansys LS-DYNA』は衝突・落下問題、塑性加工問題、熱および流体との連成問題 などの非線形現象を精度よく解析する汎用構造解析ソフトウェアです。 製品設計や強度評価のための実用的な機能を数多く装備。幅広い産業分野、 目的に応じた汎用性を有しています。 開発・設計・試作・製造など生産現場のさまざまなフェーズで期間短縮、 コスト削減、品質保証に役立てられています。 【特長】 ■世界中の多くの企業や研究機関において導入・使用実績がある ■構造解析から熱・流体との連成解析までをひとつのソフトウェアでカバー ■スケーラブルな領域分割型並列計算機能（SMP/MPP）を搭載 ■専用のプリポストプロセッサ（LS-PREPOST）が標準でバンドルされている ■主要なプリボストプロセッサがLS-DYNAの入出力データをサポート ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヘルムホルツコイルやコイルと磁性体、渦電流の絶縁と導通など、図を用いて操作を説明！
当資料は、積分要素法に基づいた磁場解析（磁界解析）ソフトウェア 『ELF/MAGIC』の操作ガイドです。 ヘルムホルツコイルをはじめ、コイルと磁性体、渦電流の絶縁と導通、 コイルの鎖交磁束などを掲載。 取り上げる例題は操作説明のため、要素数は50個以下です。 要素数が少ないので精度は低いですが、定性的な理解に活用してください。 【掲載内容（抜粋）】 ■ヘルムホルツコイル ■U字型磁石 ■ハルバッハ磁石 ■磁石に作用する力 ■コイルと磁性体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
面倒な巻線の設定が不要！計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能！
『Simcenter MotorSolve』は、MAGNETの開発元Siemens社で開発された 各種モータ専用の解析ソフトです。 モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成。 熱解析オプション（3次元）ではハウジング形状までも含めた高度な 熱解析が簡単に実施できます。 各種発熱熱や表面力密度の結果（3次元）を.UNV形式で出力可能なため、 振動解析や熱流体解析との連携が容易です。 【特長】 ■解析未経験者でも安心の自動メッシュ作成 ■自動巻線レイアウト機能により、面倒な巻線の設定が不要 ■計算には有限要素法を使用しているため高精度な解析が可能 ■モータ形状をテンプレート及びDXFデータのインポートによって作成 ■サイジング機能により、要求仕様に対する適正な形状の提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
陰解法と陽解法を統合。熱、電気、磁場、流体など多岐に渡る現象解明に。
非線形構造解析では、材料・幾何学・境界条件の三つの非線形性がキーとなります。近年の設計現場では、複雑な材料モデルを使用したアセンブリ部品での接触を考慮した製品設計を余儀なくされています。Abaqusは、古典的な金属材料の構成則はもちろんのこと、速度依存による破壊モデルやゴム・樹脂などの高分子材料のモデル化を的確に行えます。また、革新的なサーフェス/サーフェスの接触の定式化は、他の構造解析ツールに比べて、よりロバストな収束性と高い解析精度を実現します。一般接触機能では、ユーザーによる設定がほとんど必要ないため、自動車、航空機、家電製品、携帯電子機器などで見られる複雑なアセンブリで接触を定義する時間を大幅に短縮します。
電磁波と熱伝導の連成解析ソフト(周波数応答解析)。電子レンジなど誘電体の誘電損失による発熱の解析に有効です。
有限要素法による3次元高周波電磁場解析ソフト(高周波電磁界シミュレータ）で、周波数応答解析を行います。 3次元問題を扱うことができます。 【特徴】 ・PHOTOシリーズ専用プリ・ポストと一体型となっているため、データ作成から解析、結果処理が一連の操作として 行えます。 ・エッジエレメント法及びICCG 法の併用により画期的な高速化が達成されています(従来の有限要素法の数十倍) ・有限要素法を使っているので解が安定し、初心者でも安心して使えます。 ・熱伝導解析モジュールPHOTO-THERMO と連成し、誘電体の誘電損失による発熱による温度分布の計算をすることができます。 ・WAVEjωとTHERMOが一体となっているため発熱密度の受け渡しがファイルを介さず自動で実施されます。 ・WAVEjω、THERMOをそれぞれ単独で使用することも可能です。
2次元/3次元電磁界解析ソフトウェア
Ansys Maxwellはモータやアクチュエータ、インダクタ、トランス、磁気センサをはじめとする各種エレクトロメカニカル製品開発のための電磁界解析ツールです。解析対象の電磁場の振る舞い視覚的に判断でき、発生する電磁力、トルクやインダクタ、キャパシタンスといった設計パラメータの自動計算機能を有しており、実験結果との数値評価も簡単な操作で可能です。 洗練された使いやすいGUI、高精度な解析を行う高性能なAdaptive Auto MeshとSolverが実装されており、初心者の方でも有限要素解析のエキスパートの方と同じように高精度な解析結果を簡単な操作で得られます。 ＜Ansysの個人情報の取り扱いについて＞ 登録することにより、この プライバシー通知 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/terms-and-conditions) に準拠して、この事象/資産および関連するコミュニケーションを提供する目的で、これらの 条件 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/privacy-notice)および個人データの処理に同意したことになります。
様々な 産業製品向けの磁気センサに対応できる高精度のプラスチック / ゴムマグネット 部品を製造！
今日、磁気センサは多くの産業製品で採用されています。 特に自動車には安全性向上や低燃費化、エコの観点から多くの磁気センサが搭載されております。 ご提示頂いた情報を基に弊社の設計フローに沿って検討、製品仕様をご提案し、安定した量産をお約束いたします。複雑形状、1/1000mmの寸法公差、金属/樹脂部材のインサート成形等も対応検討いたします。 まずは、ご相談下さい！ 【開発の流れ】 ■要望・仕様 ■技術検討・形状提案 ■試作評価 ■量産試作 ■試作 ※詳しくは資料をダウンロードもしくはお問合せください。
物質中の電子、光子、陽電子の粒子輸送の2次元および3次元モンテカルロシミュレーション
『GamBet』は、物質中の粒子輸送の2次元及び3次元モンテカルロシミュレーションの 革新的なソフトウェアです。 当製品は単独で使用することもでき、また荷電粒子解析コードTrakおよびOmniTrakの 拡張として使用することもできます。 X線発生用ターゲット、電子ビームによる加熱、X線イメージング、陽電子物理、 放射線治療の研究、放射線防護などの計算に応用できます。 【特長】 ■傾斜部や曲線部を持つ構造も共形メッシュによって高精度に定義できる ■新しいPenelopeパッケージによって材質の相互作用を計算 ■すぐに実行可能な例題と詳しい取り扱い説明書 ■短時間での計算を可能にする最適化されたサーチルーチン ■粒子の分割/減少および相互作用促進機能を含む、先進の変動低減機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シミュレーション事例
CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解析」3Dシミュレーション事例
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。
Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 information@wavefront.co.jp
『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp
粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、マグネトロンスパッタ装置内の原子の挙動をシミュレーション
Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を求めることができ、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価可能です。解析手順としては、プラズマモジュールで求まったプラズマの粒子、エネルギー束を用いてスパッタ粒子の発生分布、発生量を求め、テスト粒子法と呼ばれる粒子法で運動を追跡します。
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」シミュレーション事例
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
