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高分解能、高速応答性、省スペース！制限のない可動範囲と高い応答性！
『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。
ナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）
EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。 このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。
SEMICON Japan 2021 Hybridで出展する製品をご紹介します。
弊社は、2021年12月15日(水)～12月17日(金)に東京ビッグサイトにて開催される「 SEMICON Japan 2021 Hybrid」に出展いたします。 当展示会では、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)、ステージ製品群ならびに、アドバンスド・モーションコントロール社のデジタルサーボドライバ製品をご紹介します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE8 モータ」 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■超音波モータ(ピエゾモータ)「EDGE モータ」 ■FBステージ(ナノモーション標準ステージ） ■デジタルサーボドライバー「FlexPro」 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
秒速200mmで動作＆最小20nmの位置決め精度。無通電時にも保持力を有し、減速機不要
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた 強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、 摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度を実現しています。 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、 電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ビルトインタイプの小型超音波モータ
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR30-Bシリーズはビルトインタイプの小型超音波モータです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は300[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-B3、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-B4をご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載したモデル
標準型モデルは、超音波モータを利用した装置の試作、一般環境用システムの構築に最適です。 USR60-Eシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
堅牢性が高く、コネクタによるケーブル着脱が可能！
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR30-SNシリーズはケースに収められているため堅牢性が高く、 コネクタによるケーブル着脱が可能となっている非磁性型モデルです。 最大トルクは0.1[Nm]、最大回転数は250[rpm]です。 出力軸のみとなっている片軸タイプのUSR30-S3N、センサの取り付け が可能な両軸タイプのUSR30-S4Nをご提供しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
インクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した非磁性型モデル
非磁性型超音波モータはMRIなどの高い磁場で利用することを想定し、金属部品は特殊なアルミと銅合金のみです。 高磁場環境である磁束密度が3[T]を超える環境でも安心してご利用いただけます。 USR60-ENシリーズはインクリメンタル型ロータリーエンコーダを搭載した非磁性型モデルです。 最大トルクは1.0[Nm]、最大回転数は150[rpm]です。 エンコーダの分解能は500 [P/R] 、1,000 [P/R] の2種類から選択して 頂くことができます。USR60-E3は500 [P/R] 、 USR60-E3Tは1,000 [P/R] のエンコーダを搭載しています。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
動作中に磁場を発しないため外部の機器に影響を与えることがない特殊なモータ！
当社で取り扱う、超音波モータ『磁場環境用モータ』をご紹介します。 ネジ1本に至るまで非磁性材料で構成しているため、磁場環境の影響を 受けず、磁場環境に影響を与えません。MRI内などの磁場環境で 安心してご利用いただくことが可能です。 「磁場環境用センサレス片軸モータ」や「磁場環境用500p/rエンコーダ付 モータ」など多数ラインアップしております。 【シリーズラインアップ】 ■磁場環境用モータ(PSM60N SERIES) ■磁場環境用モータ(PSM40N SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
φ12の貫通穴があり、取付けインターフェースがフランジになっている中空モータ
中央の直径12mmの貫通穴には、ケーブルやシャフトを通すことができ、 最高トルクは他のPSM60シリーズと同等の1.2N･mを実現！ 外部インターフェースには組込み時の汎用性に優れたフランジ形を採用。 ロボットの関節部分や装置の薄型化に貢献する新型超音波モータです。
2.0[N/m]の高トルクを維持、同クラス世界最軽量・最薄のモータ
電力・制御信号なし、ブレーキ・クラッチなしで2.0[N･m] の高トルクを維持することができ、ロボットや搬送装置の姿勢や角度の保持が可能。 静止時のバックラッシュがなく、同クラス世界最軽量、最薄のモータ。 PSM60 シリーズと同一インターフェイスで、改造なしに高トルク化を実現します。
32Nの駆動力で最高高速500mm/sec！消費電力は従来製品の半分に
『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
秒速200mmで動作＆最小20nmの精密な位置決めが可能(※)なので、小型ロボット・顕微鏡などのステージにオススメです！
『ビブレックス』は応答性・静粛性に優れた強磁場環境でも使用できる超音波モーターです。 圧電素子により振動体(ステータ)に超音波振動を発生させ、摩擦力を介して移動体(ロータまたはスライダー)を駆動。 秒速200mmの動作速度と、最小20nmの位置決め精度(※)を実現しています。 ※ドライバー基板（サブミクロン対応）開発中 無通電の状態で保持トルクを有し、減速機が要らず、電源を切ればその場でピタリと停止します。 【特長】 ■低速高トルクを実現 ■13gからの小型・軽量仕様 ■磁気の影響を受けず、電磁波の発生もなし ■顕微鏡・MRI強磁場環境用ステージ、小型ロボットなどに活躍 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
超音波モータのメリット・用途例などQ&A形式でわかりやすく解説！
「よくわかる超音波モータ」はセラミックのニッコーが超音波モータに関する基本的な疑問について解説した資料です。小型・精密位置決め可能、などの特長を持つ超音波モータに関して、わかりやすく解説しています！ 【掲載内容】 ■超音波モータの特長 ■電磁モータに比べて超音波モータのメリット ■超音波モータの用途例 ■よくご質問いただく物性値…など ※本資料は「PDFダウンロード」よりスグにご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
