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高分解能、高速応答性、省スペース！制限のない可動範囲と高い応答性！
『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。
ナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）
EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。 このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。
SEMICON Japan 2021 Hybridで出展する製品をご紹介します。
弊社は、2021年12月15日(水)～12月17日(金)に東京ビッグサイトにて開催される「 SEMICON Japan 2021 Hybrid」に出展いたします。 当展示会では、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のあるナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)、ステージ製品群ならびに、アドバンスド・モーションコントロール社のデジタルサーボドライバ製品をご紹介します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE8 モータ」 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■超音波モータ(ピエゾモータ)「EDGE モータ」 ■FBステージ(ナノモーション標準ステージ） ■デジタルサーボドライバー「FlexPro」 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
32Nの駆動力で最高高速500mm/sec！消費電力は従来製品の半分に
『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
