洗浄ユニット『ファインジェット』
低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！
『ファインジェット』は、多彩な周波数を選択可能な洗浄ユニットです。 低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応。 各種ウエハー基板洗浄や磁気ディスク、ウエハーのCMP後洗浄などの 用途に適しております。 また、耐薬品、メタルコンタミネーションフリーといった多彩なノズル バリエーションがございます。 【特長】 ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-010J50) ■多彩な周波数を選択可能(400kHz/1500kHz/3000kHz) ■多彩なノズルバリエーション：耐薬品、メタルコンタミネーションフリー ■検出機能強化：振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ■通信機能強化：発振器状態の監視、外部設定(PT-010J50) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社プレテック 静岡製作所
- 価格：応相談
