【半導体向け】小型高精度面積式流量計 NFMシリーズ
盤への埋め込みに適した小型高精度流量計で、薬液管理をサポート。
半導体製造における薬液管理では、正確な流量測定が製品の品質と安全性を確保するために不可欠です。薬液の流量が不正確だと、ウェーハの洗浄やエッチング工程に悪影響を及ぼし、歩留まりの低下や製品の不良につながる可能性があります。小型高精度面積式流量計 NFMシリーズは、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・洗浄液の流量管理 ・エッチング液の流量制御 【導入の効果】 ・正確な流量測定による品質向上 ・リークの低減による安全性の向上 ・設置の容易さによる作業効率の改善
- 企業:株式会社テクネ計測
- 価格:応相談