ガントリ型 4軸ステージ
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社ウイング
- 価格：応相談
