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EBガン - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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光学用EBガン EGP-1G

コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック/ULVAC】

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形(W×D×H)突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 11kg ○最大出力 10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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金属蒸着用EBガン EGNシリーズ

メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック/ULVAC】

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形(W×D×H) 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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