RIBER MBEセル(蒸着源)
MBEセル(蒸着源、分子線セル)はエピタキシャル膜の品質において重要です。実績豊富なRIBER社製MBEセルを紹介します。
分子線を作り出すMBEセルは、エピタキシャル膜の品質(均一性・組成・純度・モフォロジーなど)を左右する最も重要なコンポーネントです。RIBER社では、材料特性や用途に合わせて豊富なラインナップを用意しています。RIBERオリジナル装置のみならず、ありとあらゆるMBE装置の仕様に合わせてカスタマイズ提案が可能です。 ・標準型クヌーセンセル ・ヒ素、リン、アンチモン向けバルブドクラッカーセル ・大容量・高安定性ガリウム、インジウムセル ・窒化物向け高耐性エフュージョンセル ・特殊用途セル(高温セル、昇華型カーボンセル) ・窒素、酸素RFプラズマ源 ・高温・低温ガスインジェクター
- 企業:伯東株式会社 本社
- 価格:応相談