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MBEセル - 企業1社の製品一覧

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RIBER MBEセル(蒸着源)

MBEセル(蒸着源、分子線セル)はエピタキシャル膜の品質において重要です。実績豊富なRIBER社製MBEセルを紹介します。

分子線を作り出すMBEセルは、エピタキシャル膜の品質(均一性・組成・純度・モフォロジーなど)を左右する最も重要なコンポーネントです。RIBER社では、材料特性や用途に合わせて豊富なラインナップを用意しています。RIBERオリジナル装置のみならず、ありとあらゆるMBE装置の仕様に合わせてカスタマイズ提案が可能です。 ・標準型クヌーセンセル ・ヒ素、リン、アンチモン向けバルブドクラッカーセル ・大容量・高安定性ガリウム、インジウムセル ・窒化物向け高耐性エフュージョンセル ・特殊用途セル(高温セル、昇華型カーボンセル) ・窒素、酸素RFプラズマ源 ・高温・低温ガスインジェクター

  • 蒸着装置

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