MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」
デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインされた薄膜ゲッター蒸着加工
MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。 ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。 現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。 【特徴】 ○ 高真空パッケージに対応 ○ 長期信頼性の確保 ○ 活性ガスに対する高い吸着性能 ○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度 ○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ） パーティクルフリー
- 企業：サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店
- 価格：応相談
