デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインされた薄膜ゲッター蒸着加工
MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。 ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid, PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。 現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向けのハーメチックシールされた様々なMEMS製品に一般的に使用されており、パッケージ内の真空を維持する技術として広く受け入れられています。 【特徴】 ○ 高真空パッケージに対応 ○ 長期信頼性の確保 ○ 活性ガスに対する高い吸着性能 ○ ほぼ全ての封止プロセスに適応した活性化温度 ○ 二種類のパターニング方式に対応可（メタルマスク/リフトオフ） パーティクルフリー
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基本情報
【ゲッター材の基本情報】 密閉封止した装置の中の真空環境を改善し、その状態を保持するのに、ゲッター材料が極めて重要な役割を果たします。 ゲッター材料は、真空中の化学反応により全ての活性ガス（O2, H2O, CO, CO2, N2等）を吸着することが可能です。 用途と生産工程に合わせて、異なるゲッター金属合金と形状が開発されています。 また、お客様とのコラボレーションにより、様々なゲッターの技術的要求に対応しています。 例えば、真空パッケージングの委託・試作業務や、超音波顕微鏡による封止精度試験、残留ガス分析試験、アウトガス試験やリーク率測定試験などのサービスも提供しています。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ● 非冷却型IRセンサ ● MEMSジャイロ ● 振動子 ● タイミングデバイス ● 高性能の圧力センサ
企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア「サエス・ゲッターズ・グループ」は、1940年代の創業以来、高・超高真空環境や純金属の蒸着など様々な用途に対応するソリューション（ガス/水分吸着剤、水銀/アルカリ金属蒸着源など）を提供してまいりました。 また研究開発にも積極的に投資し、2004年以降はニチノール市場にも事業を展開しております。ニチノールの超弾性の特性は医療用機器に応用され、形状記憶の特性は産業および家庭用電化製品に応用されています。
