GaN半導体 MOCVD用機能部品
高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。
Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績を有しております。 ■超高温ヒータ ・超高温（1500℃以上）での使用が可能 ・腐食性ガス雰囲気に耐性がある ・色々な形状にも対応でき、設計の自由度が高い ■その他機能部品 ・MOCVD、HVPEなどの高温プロセスに対応 ・客先仕様に応じての専用設計 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
