OLED用処理装置
処理速度は0.6~5.0m/min(可変)!有機EL製造ラインの洗浄装置を提供しています
当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。 基板サイズは370×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物:ガラス基板 370×470 厚み 0.6~1.1t ■処理方法:枚用処理 ■処理速度:0.6~5.0m/min(可変) ■パスライン:FL+1100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ダン科学
- 価格:応相談