RF電源(プラズマ) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

RF電源(高周波電源)

RF電源(高周波電源)・マッチングボックスなら当社におまかせください

当社では、液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、 販売及び技術サービスの提供を行っております。 大幅な小型化と部品共通化による納期短縮に成功したTXシリーズをはじめ、 従来機と比較して高さ・重量共に1/5以下のTSシリーズなどを取り揃えております。 【ラインアップ(電源)】 ■AXシリーズ ■TXシリーズ ■TSシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。