両面マスクアライナー
両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。
- 企業:ウシオライティング株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年09月24日~2025年10月21日
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両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能
ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。
平行光露光装置のラインナップのご案内です。
均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
お手軽で簡単!手動式バーコーター。色見本や評価用サンプル作りのツールとして活用頂けます。
・ Wet 膜厚4~500umに対応。 ・少量の材料で誰でも簡単に素早くサンプル作成が可能です。 ・番手変更することで、異なる膜厚のサンプルも簡単にできます。 ・専用の印刷台を使用することで、高い再現性が得られます。 ・サンプル作成に実機を使用する場合がありますが、大量の材料を使用し、準備や段取り、後片付けに膨大の時間を消費しますが、バーコーターなら必要ありません。 ・実験用の塗布機として、フィルムアプリケーターなどがありますが、塗布幅が狭く、たわみやすい材質への塗布は困難です。 ・バーコーターは幅約300mmまで塗布でき、たわみやすい銅箔やアルミ箔、プラスチックフィルム、紙、布などに塗布でき、塗工液も塗料、インキ、接着剤など様々な塗料に対応できます。 カタログダウンロードはこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/catalogs/ 製品詳細はこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/products/k-hand-coaters/
機能紙、機能性フィルムやプリンテッドエレクトロニクスの研究開発に適したテストコーター
ロールtoロールパイロットコーター『VCML』は、フレキシブルな材料(フィルム、ロール紙、金属箔など) に対して印刷、コーティング、ラミネートができる多機能テストコーターです。 【特長】 ■ヘッドの交換で12種類以上の印刷/コーティング/ラミネートに対応 ■コンパクトサイズ(制御盤内蔵式) 機械寸法2.5m(L)×1m(W)×1.8m(H) ウェブ幅300mm(max) ■わずか数百ccの材料からサンプル塗工が可能で、数m~数百mのサンプルが手軽にとれます ■カラータッチパネルの簡単操作 ■巻出し&巻取りシャフトは片持ち式交換が手軽 ■ドライヤーオプション(熱風乾燥/IR/UV) ■機械の遠隔診断が可能なインターネットオプションあり カタログダウンロードはこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/catalogs/ 製品詳細はこちら▼ https://www.matsuo-sangyo.co.jp/products/vcml/
ディスペンサー&UV照射装置
本装置は、LCDパネルFPC接続部及びチップ上に防湿剤塗布&UV照射を行うセル生産対応のセミオート機です。
開発専用として、少量の塗工液、シートでサンプル試作が可能なコーター
綾瀬研究所NCR-230と同じく開発専用として、少量の塗工液、およびシートでサンプル試作が可能なコーターです。
新製品のマーケティング用試作、多品種少量サンプルの試作に適しているテストコーターです。
塗料も1~2Lあれば塗工が可能で、無駄のないテストコーターです。
大村開発研究所コーティングマシン
量産テスト、少量生産用コーターとしてマイクログラビアおよびスロットダイでの塗工が可能です。
テーブルテストからのステップアップに!低速でも横段なしの均一な塗工性で塗工幅は最大300mm幅。
低価格モデルのテストコーター『Labo-R&D300』をご紹介いたします。 テーブルテストからのSTEP UPコーターで、低速でも横段なしの均一な塗工性。 塗工ヘッドは2種で、厚膜は縦型スロットダイ、 薄膜はマイクロアニロックスロールとなっております。 *アルミ部材の採用で2F設置可能重量、500kg/m2を実現しました。 【低価格モデルの特長】 ■塗工幅 MAX300mm幅:社内評価用サンプル作成用 ■軽量化 アルミ部材の採用で2F設置可能重量、500kg/m2の実現 また、高性能モデル『Labo-R&D500』も取り扱っております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フルオートUV照射機
ブラックライト仕様フルオートUV照射機は、カセットにより供給されたウエハーフレームを自動で取り出し、UV照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。 8インチ、12インチのウエハーフレームに自動段取り替えにて対応します。
OCR硬化装置
スマートフォン、タブレットPCのパネル組立後のUV照射装置です。 関連した装置構成によりカスタム対応が可能です。
数秒のUV照射で硬化可能! UVフロアコーテイング材・UFHコート(UV樹脂)を照射し硬化実績あり
●100V ・1.2kw使用でUVランプ31cmの幅広です。 ●数秒のUV照射時間でUVコーテイング硬化可能です。 ※詳細はお問い合わせください。
電線、チューブ、ホース、パイプ等樹脂押出し製品の性質改善に最適!
韓国・EB Tech社の電子線照射装置は、樹脂、ゴム製品等に電子線を照射して製品の性質を改善し、製品の付加価値を高める装置。 種々の製品、用途に対応する為0.4MeVから2.5MeV出力の幅で多くの機種がある。 光アイソレート電圧制御、新方式加速コイル、電子ガンへの非接触給電の他安全で保守が容易な設計となっている。
燃費消費削減に!大川原化工機は時代に即した省エネシステムをご提案いたします
排熱回収や、ブロワへのインバーター取付、スチームドレイン回収で、スプレードライヤの省エネをご提案します。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応可能。UV-LED光源を採用し、ランニングコストを低減します
『CMS(Cerma Micro Stepper)-Ck』は、650×550mmの フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。 標準光源として、UV-LED光源を採用。 解像力(L/S)が2μmのインターポーザーをはじめ、 高精細・高精度・高生産性を要求される用途に適しています。 【特長】 ■L/S=1.4/1.4μmからの量産プロセスに対応 ■ダイバイダイアライメント&グローバルアライメント方式 ■チップファースト工程にも対応可能 ■ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上 ※詳しくは資料をご覧ください。また、当社では製品を実際に評価いただける クリーンルームも完備。デモをご希望の方はお気軽にご連絡ください。 (ラミネート・塗布、現像の周辺プロセスを含めて対応可能です)