エキシマUV照射装置『SPC Series』<フラットタイプ>
大学・研究・開発に好適!高照度一括照射可能なエキシマ照射ユニット
『SPC Series』は、フラットタイプのエキシマUV照射装置です。 照度分布を従来の±15%から±5%まで向上。高照度一括照射可能な エキシマ照射ユニットとなっております。 ウェハ洗浄をはじめ、露光光源やコータ前処理、レジスト改質などに ご活用いただけます。 【特長】 ■照度モニター機能 ■フィードバック制御 ■真空対応可能 ■照度分布を従来の±15%から±5%まで向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社クォークテクノロジー
- 価格:応相談