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Zステージ×神津精機株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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自動Zステージ『ZA07A-V201』

構造がシンプルで、価格を抑えた仕様!ボールネジを採用しているので耐久性に優れています

当社で取り扱う、自動Zステージ『ZA07A-V201』をご紹介いたします。 ボールネジを採用しているので耐久性に優れ、高速移動が可能。 構造がシンプルで、価格を抑えた仕様になっております。 また、テーブルの大きさ口70mmサイズの製品として、高剛性を有する 「ZA07A-V1F01」や低床の「ZA07A-W2C02」などをご用意しています。 【仕様(一部)】 ■テーブルサイズ:70mm ■ステージ高さ:max102.5mm ■案内方式:クロスローラ ■移動範囲:CW 4mm、CCW 10mm ■分解能:0.25μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他機械要素

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【Zステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Zステージ

お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。

半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からZステージを特集。 直立型Zステージや3タイプの水平面Zステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもZステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Zステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置

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