高耐荷重 Zステージ SZ200
レイアウトに合わせたステージの制作が可能!
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 (10~30kg) タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:株式会社MSAファクトリー
- 価格:応相談
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レイアウトに合わせたステージの制作が可能!
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 (10~30kg) タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1%のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、X軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。