アライメントモジュール『AM』
多彩な動作を実現する位置決めモジュール!2000クラスの大型ステージも対応
『AM』は、精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラ ベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に 開発された位置決めモジュールです。 高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理。 各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、 アライメントステージが構成できます。 【特長】 ■多彩な動作を実現 ■高さ調整が不要 ■用途に合わせたステージを自由に設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:藤川伝導機株式会社
- 価格:応相談