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高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
用途に適した位置決めステージを選定！単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ、超高精度のRSTAシリーズなどをご紹介
製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。 そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する必要があります。 神津精機では、用途に合わせた様々なアライメントステージをご用意しております。 高精度、高剛性を両立させたガイド機構を採用した「YRAシリーズ」や 駆動ユニットを均等に配置することにより0.1μmピッチでの高い 追従性を実現する「RSTAシリーズ」を掲載。 【YRAシリーズ】 ■高精度、高剛性を両立させたガイド機構 ■薄型・軽量・小型を実現 ■高精度研削ボールねじを採用 ■制御の容易なステッピングモーターを採用 また、アライメントステージに関するガイドブックをご用意いたしました。 選定にあたって、ぜひご参考にしていただけますと幸いです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
